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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113620249A(43)申请公布日2021.11.09(21)申请号202110890266.8(22)申请日2021.08.04(71)申请人河北卓泰肥业有限公司地址054200河北省邢台市内丘工业园北园(72)发明人吴军祥吴良毅孙汉勇石建华王秀萍夏涛索振华王林浩(74)专利代理机构宿州智海知识产权代理事务所(普通合伙)34145代理人李晓峰(51)Int.Cl.C01B7/07(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法及生产系统(57)摘要本发明提供一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法及生产系统,包括如下步骤:曼海姆炉排出的尾气进入硫酸洗涤塔,用浓硫酸吸收杂质气体,硫酸洗涤塔排出的气体经过依次经过一级洗涤塔、一级过滤器、二级洗涤塔、三级洗涤塔、二级过滤器,且所述三级洗涤塔的下部通过液相管道与二次洗涤塔连通,使得三级洗涤塔通过管道向二级洗涤塔中补液,同时所述二级洗涤塔外部的循环通道上加装有换热器,换热器与冷冻机连通,冷冻机将换热器的循环水降温至低于5℃。在低温下,在二级洗涤塔中的循环水能够一直循环吸收氯化氢气体,使得最后的盐酸浓度能达到接近36%,提高对氯化氢气体的吸收能力,进而提高最终得到的试剂盐酸的浓度。CN113620249ACN113620249A权利要求书1/1页1.一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,包括如下步骤:曼海姆炉排出的尾气进入硫酸洗涤塔,用浓硫酸吸收杂质气体,硫酸洗涤塔排出的气体经过依次经过一级洗涤塔、一级过滤器、二级洗涤塔、三级洗涤塔、二级过滤器,且所述三级洗涤塔的下部通过液相管道与二次洗涤塔连通,使得三级洗涤塔通过管道向二级洗涤塔中补液,同时所述二级洗涤塔外部的循环通道上加装有换热器,换热器与冷冻机连通,冷冻机将换热器的循环水降温至低于5℃。2.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述一级过滤器内部前端放置玻璃纤维,后端放置活性炭过滤,用于滤除有机物及金属离子。3.根据权利要求2所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述二级过滤器采用树脂罐,用于过滤金属离子。4.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述一级过滤器内部放置玻璃纤维和膨胀石墨。5.根据权利要求4所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述膨胀石墨表面负载壳聚糖。6.根据权利要求5所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述膨胀石墨的制备方法为:将备用膨胀石墨放入32%的盐酸溶液中搅拌后过滤、洗涤,在105℃的条件下干燥,再用水缓慢溶解壳聚糖,配置成壳聚糖溶液,将干燥后的膨胀石墨缓慢加入到壳聚糖溶液中,搅拌使之充分混合均匀,110℃下干燥6h后得壳聚糖/膨胀石墨吸附剂。7.根据权利要求6所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述壳聚糖与膨胀石墨的质量比为1:20。8.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述一级洗涤塔、二级洗涤塔和三级洗涤塔均采用纯水洗涤。9.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法,其特征在于,所述硫酸洗涤塔内利用P105循环泵将浓硫酸打到塔顶附近的喷淋头内,形成一个塔内循环。10.一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统,其特征在于,使用权利要求1至9中任意一项所述的方法,所述生产系统包括曼海姆炉、硫酸洗涤塔、一级洗涤塔、一级过滤器、二级洗涤塔、三级洗涤塔和二级过滤器,硫酸洗涤塔的输入端与曼海姆炉连接,硫酸洗涤塔的输出端与一级洗涤塔连接,一级洗涤塔的输出端与一级过滤器连接,在一级过滤器之后依次设置有二级洗涤塔、三级洗涤塔和二级过滤器。2CN113620249A说明书1/7页一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法及生产系统技术领域[0001]本发明涉及电子化学试剂生产领域,具体而言,涉及一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的方法及生产系统。背景技术[0002]随着半导体技术的迅速发展,对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路(IC)的加工过程中,超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的清洗和刻蚀,其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净试剂盐酸作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。[0003]目前电子化学品试剂盐酸的生产主要采用的生产技术为精馏法。如现有技术中公开号为CN103213947B的专利公开了一种利用精馏法生产试剂盐酸的工艺,该工艺包括选料,选浓度为36~38%的盐酸溶液为原料;稀释,用去离子水将原料稀释至