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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113699408A(43)申请公布日2021.11.26(21)申请号202110986678.1C25D3/50(2006.01)(22)申请日2021.08.26C25D7/06(2006.01)H01L23/49(2006.01)(71)申请人江西蓝微电子科技有限公司H01L21/48(2006.01)地址343000江西省吉安市井冈山经济技术开发区(72)发明人彭庶瑶彭晓飞(74)专利代理机构东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙)44251代理人周松强(51)Int.Cl.C22C9/00(2006.01)C21D9/52(2006.01)C22C1/02(2006.01)C22F1/02(2006.01)C22F1/08(2006.01)权利要求书3页说明书7页附图4页(54)发明名称一种铜钯银合金键合引线及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种铜钯银合金键合引线及其制备方法,涉及到微电子封装用金属键合丝技术领域,包括引线本体,所述引线本体表面设置有镀钯保护层,所述引线本体直径为0.015毫米-0.05毫米,所述镀钯保护层厚度为0.2微米-0.6微米。本发明通过设置有延伸炉体,同时利用隔断机构对主炉体与延伸炉体进行隔断,进而可以使得主炉体内部在进行原料熔化前持续保持真空状态,实际使用时仅需要对延伸炉体内部的部分空间进行抽真空处理,相较于现有技术中的同类型工艺,本发明有效减少了工艺开始时所需要的抽真空时间,进而加快工艺效率的同时,还可以节约长时间抽真空所浪费的电力。CN113699408ACN113699408A权利要求书1/3页1.一种铜钯银合金键合引线,其特征在于:包括引线本体,所述引线本体表面设置有镀钯保护层,所述引线本体直径为0.015毫米-0.05毫米,所述镀钯保护层厚度为0.2微米-0.6微米。2.根据权利要求1所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述方法使用铜钯银合金键合引线制备设备实现,所述铜钯银合金键合引线制备设备包括设备台(1),所述设备台(1)顶部左侧固定设置有炉体组件(2),所述炉体组件(2)顶部左侧固定设置有驱动机构(3),所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部设置有储料机构(4),所述储料机构(4)竖直方向上可升降的设置在驱动机构(3)中的第一往复丝杆(34)外侧,所述炉体组件(2)中的延伸炉体(22)两侧均固定嵌套设置有隔断机构(5),所述驱动机构(3)中的第一锥齿轮(33)驱动隔断机构(5)水平方向上左右位移,两个所述隔断机构(5)中的隔断板(52)相组合,炉体组件(2)中的延伸炉体(22)内部空间进行密封隔断,所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内部以及储料机构(4)中的放置座(43)外侧共同固定设置有搅拌机构(6),所述搅拌机构(6)中的搅拌杆(69)对储料机构(4)中的坩埚(44)内部的原料进行搅拌,所述炉体组件(2)中的主炉体(21)内壁上固定设置有多个加热管(7),多个所述加热管(7)均对储料机构(4)中的坩埚(44)进行加热。3.根据权利要求2所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述炉体组件(2)包括主炉体(21)、延伸炉体(22)、氮气输入管(23)、氮气回收管(24)、抽真空管(25)和密封门(26),所述主炉体(21)固定设置于设备台(1)顶部左侧,且主炉体(21)内部保持真空状态,所述延伸炉体(22)固定嵌套设置于主炉体(21)顶部,所述氮气输入管(23)与氮气回收管(24)均固定贯穿设置于主炉体(21)左侧顶部,所述抽真空管(25)固定贯穿设置于延伸炉体(22)顶部右侧,所述密封门(26)通过合页转动设置于延伸炉体(22)正面右侧。4.根据权利要求3所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述驱动机构(3)包括驱动电机(31)、主动轴(32)、第一锥齿轮(33)、第一往复丝杆(34)和第二锥齿轮(35),所述驱动电机(31)固定设置于延伸炉体(22)顶部左侧,所述主动轴(32)顶端与驱动电机(31)传动连接,且其底端贯穿延伸炉体(22)并延伸至延伸炉体(22)内部,所述第一锥齿轮(33)固定套接设置于主动轴(32)外侧。5.根据权利要求4所述的一种铜钯银合金键合引线制备方法,其特征在于:所述储料机构(4)包括升降滑块(41)、L形连接臂(42)、放置座(43)和坩埚(44),所述升降滑块(41)套接设置于第一往复丝杆(34)外侧并与第一往复丝杆(34)螺纹连接,所述L形连接臂(42)固定设置于升降滑块(41)右侧,所述放置座(43)固定设置于L形连接臂(42)顶端,所述坩埚(44)放置于放置座(43)顶部,所述升降滑块(41)顶部后侧竖直方向上