热处理炉的加热器供电装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113774206A(43)申请公布日2021.12.10(21)申请号202010655358.3H02G3/08(2006.01)(22)申请日2020.07.09H02G3/16(2006.01)(30)优先权数据10-2020-00695562020.06.09KR(71)申请人韩国光洋热电系统有限公司地址韩国京畿道平泽市彭城邑秋八产业园地一路70(72)发明人金珉哲中西识(74)专利代理机构北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11384代理人郑青松(51)Int.Cl.C21D9/00(2006.01)C21D1/34(2006.01)H01R25/16(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图6页(54)发明名称热处理炉的加热器供电装置(57)摘要本发明公开热处理炉的加热器供电装置。本发明包括：热处理炉，其具有为了加热干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有作为发热体的加热器，且利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；导电部，其连接有多个汇流条，所述汇流条与所述加热器的发热线连接以导通电流；以及供电部，其具有突出于腔室的外盒体并用于向所述汇流条导通电流的多个引线(feedthrough)，从而沿着所述腔室的内外盒体引导外部电源输入端子的连接。CN113774206ACN113774206A权利要求书1/1页1.一种热处理炉的加热器供电装置，包括：热处理炉，其具有为了加热干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有作为发热体的加热器，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；导电部，其与多个汇流条连接，所述汇流条与所述加热器的发热线连接以导通电流；以及供电部，其具有突出于腔室的外盒体并用于向所述汇流条导通电流的多个引线，从而沿着所述腔室的内外盒体引导外部电源输入端子的连接。2.如权利要求1所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，所述供电部具有使所述引线突出的开口孔，并包括用于保护所述引线且在外部进行维护的箱体。3.如权利要求2所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，所述箱体的一端具有可控制腔室内的加热器温度的温度控制传感器引导窗，所述箱体的内侧包括具有耐热性的外壳和用于阻断腔室内的热和流体向外部外流的温度传感器密封垫。4.如权利要求1所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，在腔室的外部盒体上安装硅环，所述引线被引导至硅环以保持高温绝缘性能。5.如权利要求4所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，在腔室的外盒体上安装金属衬套，所述硅环被引导至所述金属衬套以保持高温密封。6.如权利要求1所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，所述引线由镍材料组成以预防高温腐蚀。7.如权利要求5所述的热处理炉的加热器供电装置，其中，所述硅环由多个密封圈或者平衡座组成以保持密封。2CN113774206A说明书1/6页热处理炉的加热器供电装置技术领域[0001]本发明涉及一种将外部电源连接并导通至热处理炉的加热器以进行供给的热处理炉的加热器供电装置。背景技术[0002]有机发光显示装置及LCD玻璃基板等正在图像屏幕、TV、手机、显示器等各种图像装置中使用。有机发光显示装置及LCD玻璃基板等作为下一代显示器之一正用于各种领域，近来，为了提高性能和收率，该领域平板显示器制造技术的开发正在不断地进行。[0003]制造作为典型的平板显示器的有机发光显示装置或LCD玻璃基板(以下称“基板”或者“玻璃基板”)的过程中，温度控制和温度均匀性是确保优质的基板质量和收率必不可少的。[0004]例如，在有机发光显示装置的制造工艺中，由于在基板表面形成有机物层，从而可能会包含一定量的水分，因此需要用于蒸发水分的干燥工艺。[0005]LCD玻璃基板制造工艺中，在基板表面上涂布感光膜之前进行清洗过程，而在清洗过程之后执行用于去除水分的加热干燥工艺。[0006]此外，将感光膜涂布到LCD玻璃基板上之后执行曝光及显影工艺。该曝光及显影工艺之前和之后依序执行预烘干(pre-baking)和后烘干(post-baking)工艺。[0007]如此，基板制造的大部分工艺执行加热及干燥工艺，以此来制造基板。在基板制造工艺中产生的水分可通过紫外线或放入包括加热器(sheathheater)等发热体的热处理炉的腔室内经加热干燥后去除。[0008]韩国授权专利公报第10-2094763号中已提出与此有关的基板的热处理炉。[0009]另外，现有的热处理炉需要改善向加热器供电的供电部的性能。[0010]即，现有的热处理炉的供电部，其内部腔室内侧形成有作为发热体的加热器，供电部被设置为穿过内部腔室和绝缘物及外部腔室后进行电源供给，但是其性能很难满足最小化对热处理工艺条件的影响的要求。例如，现实情况是在控制腔室