热处理炉的加热器电源连接装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115348691A(43)申请公布日2022.11.15(21)申请号202110761021.5(22)申请日2021.07.06(30)优先权数据10-2021-00614182021.05.12KR(71)申请人韩国光洋热电系统有限公司地址韩国京畿道(72)发明人中西识金珉哲李光远(74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理有限公司51258专利代理师魏彦(51)Int.Cl.H05B3/02(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图6页(54)发明名称热处理炉的加热器电源连接装置(57)摘要本发明公开了热处理炉的加热器电源连接装置。本发明包括：加热器单元，其包括汇流条和加热板，所述汇流条安装在所述热处理炉的腔室内且通过与电极连接来提供低电压和大电流以实现通过热对基板进行加热或者干燥，所述加热板具有发热体，所述发热体具有与所述汇流条通电的电极；以及供电端子部，其为了通过从所述加热器单元的汇流条引导供电的供电线向所述发热体通电，安装在所述加热板，且与所述供电线连接。CN115348691ACN115348691A权利要求书1/1页1.一种热处理炉的加热器电源连接装置，包括：加热器单元，其包括汇流条和加热板，所述汇流条安装在所述热处理炉的腔室内且通过与电极连接来提供低电压和大电流以实现通过热对基板进行加热或者干燥，所述加热板具有发热体，所述发热体具有与所述汇流条通电的电极；以及供电端子部，其为了通过从所述加热器单元的汇流条引导供电的供电线向所述发热体通电，安装在所述加热板，且与所述供电线连接。2.如权利要求1所述的热处理炉的加热器电源连接装置，其特征在于，所述供电端子部包括：孔，其贯穿所述加热板；供电套管，其具有与所述加热板的孔对中的孔，安装在加热板的上部面，与通过供电线导入的电源通电，并维持平行接触；绝缘套管，其具有与所述供电套管和供电线的端子侧孔对中的孔且用于抑制电流的外泄；以及固定手段，其连续地穿过所述加热板、绝缘套管、供电线的端子及供电套管上贯通的各孔并固定在加热板上。3.如权利要求2所述的热处理炉的加热器电源连接装置，其特征在于，安装于所述加热板上部面的绝缘套管具有上部直径大且下部直径相比于上部小的段差，该下部由穿过所述供电线端子上形成的孔的突出部以突出状构成。4.如权利要求2所述的热处理炉的加热器电源连接装置，其特征在于，所述固定手段由固定螺栓组成，所述固定螺栓连续地穿过所述绝缘套管、供电线的端子、供电套管及加热板上贯通的各孔，在加热板的上部面依次固定绝缘套管、供电线的端子及供电套管，并在加热板的下部面利用螺母进行加固。5.如权利要求4所述的热处理炉的加热器电源连接装置，其特征在于，在所述加热板下部面与螺母之间夹设垫圈，上部为平垫圈，下部为以2层叠层地插入的弹簧垫。2CN115348691A说明书1/7页热处理炉的加热器电源连接装置技术领域[0001]本发明涉及提高安装在热处理炉腔室的加热器单元的通电性能的热处理炉的加热器电源连接装置。背景技术[0002]最近，显示器市场正应用于TV、手机、屏幕等各种影像装置，由于技术的快速发展，为改善产品的性能而不断努力。有机发光显示装置及LCD基板(以下称“基板”或者“玻璃基板”)是下一代显示器之一且在各种产品领域中使用。组成显示器装置的玻璃基板经热处理制造而成，热处理时为了满足各个工艺要求的条件，只有阻断外气的影响且使外流到腔室外部的热最小化，才能够避免性能低下，并降低产品不良率。此外，为了改善完成品的收率，热处理时基板的面内偏差越小越好，所以需要一种高性能的热处理炉，针对这种高性能的热处理炉的研究正在持续进行。[0003]此外，在制造基板的过程中，温度控制和温度均匀性是确保优质的基板质量和收率必不可少的。例如，在基于热处理炉的基板制造工艺中，由于基板表面形成有机物层可能会包含一定量的水分，因此需要进行用于蒸发水分的干燥工艺。玻璃基板制造工艺中，在基板表面上涂布感光膜之前进行清洗过程，而在清洗过程之后执行用于去除水分的加热干燥工艺。如此，基板制造工艺的大部分都执行加热及干燥工艺，以此来制造基板。在基板制造工艺中产生的水分可通过紫外线或放入包括加热器(sheathheater)等发热体的热处理炉的腔室内经加热干燥后去除基板上残留的水分。[0004]有关于此，韩国授权专利公报第10‑1238560号及韩国公开专利公报第10‑2013‑0028322号中已提出“LCD玻璃炉腔室”。[0005]另外，安装在热处理炉腔室的加热器单元包括导电部，所述导电部与用于连接电热丝以导通电流的多个汇流条连接，虽然根据式样会有所不同但是通常情况下，热处理炉的加热器单元内置有利用电阻发热的电热丝