一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113897598A(43)申请公布日2022.01.07(21)申请号202111454472.0H01M10/0525(2010.01)(22)申请日2021.12.02(71)申请人苏州力碳新能源发展有限公司地址215000江苏省苏州市太仓市娄东街道宣公东路29号(72)发明人李同意汪炜李云初周翟和(74)专利代理机构北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)11531代理人霍从芳(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)C23C16/32(2006.01)C23C16/458(2006.01)H01M4/04(2006.01)H01M4/1395(2010.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉(57)摘要本发明公开了一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，属于CVD沉积炉领域。一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，包括底座和炉管，所述底座上固定连接有支撑板，所述支撑板的顶部设有用于支撑炉管的支撑件，所述支撑板上还滑动连接有与炉管相配合的罩体；所述罩体的内壁通过支撑块支撑有筒体，所述炉管上设有细孔，所述支撑板上还设有与炉管相配合的送料机构；所述筒体内设有与炉管相抵的第一密封气囊和第二密封气囊，所述罩体内设有抽风机，用于抽取筒体与炉管之间的气体；所述密封法兰与炉管密封连接；本发明可有效的进行密封操作，防止乙炔、甲烷和氢气等气体产生泄露，避免了产生爆炸的危险，提高了使用时的安全程度。CN113897598ACN113897598A权利要求书1/2页1.一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，包括底座（1）和炉管（2），其特征在于，所述底座（1）上固定连接有支撑板（101），所述支撑板（101）的顶部设有用于支撑炉管（2）的支撑件（202），所述支撑板（101）上还滑动连接有与炉管（2）相配合的罩体（102）；所述罩体（102）的内壁通过支撑块（307）支撑有筒体（3），所述炉管（2）上设有细孔（201），所述细孔（201）置于筒体（3）内部，所述支撑板（101）上还设有与炉管（2）相配合的进料机构；所述筒体（3）内设有与炉管（2）相抵的第一密封气囊（609）和第二密封气囊（705），所述罩体（102）内设有抽风机（302），用于抽取筒体（3）与炉管（2）之间的气体；所述罩体（102）的端部设有固定法兰（104），所述固定法兰（104）上连接有密封法兰（105），所述密封法兰（105）与炉管（2）密封连接。2.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，其特征在于，所述筒体（3）内设有锥管（303），所述抽风机（302）的抽风端设有与锥管（303）相连通的抽风管（304），所述抽风机（302）的出风端通过出风管（305）连接有箱体（6），所述箱体（6）设置在筒体（3）与罩体（102）之间，所述出风管（305）上设有单向阀（306）。3.根据权利要求2所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，其特征在于，所述箱体（6）内滑动连接有横板（601），所述横板（601）的底部与箱体（6）的底部之间设有弹性件，所述箱体（6）上设有连接管（608），所述连接管（608）与第一密封气囊（609）相连通。4.根据权利要求3所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，其特征在于，所述横板（601）上设有限位块（603），所述横板（601）上还设有滑动连接在罩体（102）上的螺纹杆（602），所述螺纹杆（602）上设有固定螺母（606），所述箱体（6）的顶部设有排气管（604），所述排气管（604）置于罩体（102）外的一端设有控制阀（605），所述罩体（102）的顶部设有挡板（106），所述挡板（106）上设有与排气管（604）相连接的连接法兰（607）。5.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，其特征在于，所述筒体（3）内设有空腔（7），所述空腔（7）内滑动连接有活塞板（701），所述活塞板（701）的底部设有梯形块（702），所述梯形块（702）与炉管（2）的外壁相抵，所述空腔（7）内还设有环形挡块（703）和第一弹簧（706），所述第一弹簧（706）设置在活塞板（701）与空腔（7）的内壁之间，所述空腔（7）上连接有与第二密封气囊（705）相连通的输送管（704）。6.根据权利要求1所述的一种连续式硅碳负极包覆动态CVD沉积炉，其特征在于，所述密封法兰（105）的内壁设有固定板（8），所述固定板（8）上滑动连接有压板（801），所述压板（801）上设有橡胶垫（802），所述橡胶垫（802）上设有与炉管（2）上的通孔（204）相配合的橡胶锥块（803）