一种快速降温的压力固化炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113899213A(43)申请公布日2022.01.07(21)申请号202111496077.9(22)申请日2021.12.09(71)申请人北京中科同志科技股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路甲10号1号楼6层6D(72)发明人邓燕张延忠赵永先(74)专利代理机构北京佐行专利代理事务所(特殊普通合伙)11683代理人王占愈王二娟(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D5/00(2006.01)F27D9/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种快速降温的压力固化炉(57)摘要本发明提供一种快速降温的压力固化炉，包括炉本体、载物台、冷却装置和升降机构。所述炉本体具有空腔；所述载物台设置在所述空腔内；所述冷却装置设置在所述空腔内；所述升降机构部分位于所述空腔内，且所述升降机构和所述冷却装置相连接，所述升降机构能带动所述冷却装置升降运动，以接触或脱离所述载物台。本申请的快速降温的压力固化炉，在承载物不发生位移，保证焊接质量的前提下，可以实现载物台的快速冷却和快速升温，提升焊接效率。CN113899213ACN113899213A权利要求书1/1页1.一种快速降温的压力固化炉，其特征在于，包括：炉本体，所述炉本体具有空腔；载物台，所述载物台设置在所述空腔内；冷却装置，所述冷却装置设置在所述空腔内；升降机构，所述升降机构部分位于所述空腔内，且所述升降机构和所述冷却装置相连接，所述升降机构能带动所述冷却装置升降运动，以接触或脱离所述载物台。2.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，所述升降机构包括驱动部件和传动轴，所述传动轴上设置外螺纹，所述冷却装置上设置螺纹套，所述驱动部件设置在所述炉本体外部，所述传动轴贯穿所述炉本体设置，且所述传动轴和所述炉本体之间设置转动密封装置，所述传动轴一端和所述螺纹套螺纹连接，另一端和所述驱动部件传动连接。3.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，还包括冷却介质管，所述冷却装置具有冷却介质通道，所述炉本体上设置连通所述空腔的连通口，所述冷却介质管贯穿所述连通口，所述冷却介质管和所述冷却装置相连接，所述冷却介质管和所述冷却介质通道相连通。4.根据权利要求3所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，还包括弹性密封装置，所述弹性密封装置套设在所述冷却介质管外部，且所述弹性密封装置的两端分别与所述载物台和炉本体相连接，所述弹性密封装置内部空间和所述空腔相隔离。5.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，所述冷却装置上平行设置有多个冷却介质通道，相邻两冷却介质通道中，一所述冷却介质通道的入口和另一所述冷却介质通道的出口位于所述冷却装置的同一侧。6.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，还包括吹除装置，所述吹除装置和所述冷却装置相连通，且所述吹除装置和所述冷却介质通道相连通。7.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，包括加热装置，所述加热装置包括多个加热管，所述冷却装置包括底台部和连接在底台部上的多个凸台部，相邻两个凸台部之间形成容纳腔，各所述加热管分别设置在相应的容纳腔内。8.根据权利要求1所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，所述炉本体包括底部缸体、盖体和旋转支架，所述旋转支架和所述盖体相连接，以带动所述盖体闭合或打开所述底部缸体的口部。9.根据权利要求8所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，所述旋转支架包括立柱和横梁，所述横梁上设置螺纹透槽，所述螺纹透槽上螺纹连接有锁紧部件，所述锁紧部件和所述盖体相连接。10.根据权利要求8所述的快速降温的压力固化炉，其特征在于，还包括辅助锁紧机构，所述辅助锁紧机构包括沿所述底部缸体周向间隔设置的多个压紧杆，所述压紧杆一端和所述底部缸体相铰接，所述压紧杆的中部连接伸缩机构，所述压紧杆的另一端设置有压紧块，所述伸缩机构伸缩运动，带动所述压紧杆摆动，以通过所述压紧块压紧或释放所述盖体。2CN113899213A说明书1/5页一种快速降温的压力固化炉技术领域[0001]本发明涉及半导体行业用于芯片焊接、烘烤和固化的密封设备技术领域，尤其涉及一种快速降温的压力固化炉。背景技术[0002]压力固化炉分为正压固化炉、负压固化炉以及组合形式的压力固化炉。目前市面上可见的压力固化炉多以固定载物台，固定冷却管路，固定加热装置等形式。为保证冷却效率，多将冷却管路于载物台接触，通过提升接触面达到快速冷却的目的。也有的设备冷却管路和载物台没有接触，通过内部气体循环进行冷却。或直接通过气体冷却。还有一种冷却管路固定，载物台运动，和冷却管路进行贴合与分离。加热过程中，载物台和