导流筒悬挂结构及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114108071A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202111456553.4(22)申请日2021.12.02(71)申请人四川永祥光伏科技有限公司地址614000四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号(72)发明人刘要普陈浩乃家旺李国华姚婉莹张军马自成(74)专利代理机构成都欣圣知识产权代理有限公司51292代理人彭伟(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图6页(54)发明名称导流筒悬挂结构及单晶炉(57)摘要本发明涉及单晶炉设备技术领域，提供一种导流筒悬挂结构及单晶炉，对称于导流筒中轴线设有两套，每套悬挂结构包括连接于水冷屏横杆上的挂块及用于悬挂导流筒的挂件，挂块上开设有第一卡槽、第一球形凹槽，第一卡槽自挂块的侧面向内延伸，第一球形凹槽与第一卡槽相交且自挂块的顶面向下沉设；挂件上具有球面凸出部，球面凸出部与第一球形凹槽铰接构成球铰结构。本发明通过球面凸出部与第一球形凹槽铰接构成的球铰结构，导流筒在位置发生偏移时可以利用自身重力实现自动纠偏，对中性好，从而提高定位精度，保证热场的一致性，能够降低对拉晶作业标准化的影响；同时，第一球形凹槽可以对挂件进行有效限位，进而防止导流筒发生脱钩造成安全事故。CN114108071ACN114108071A权利要求书1/1页1.导流筒悬挂结构，对称于导流筒中轴线设有两套，其特征在于，每套悬挂结构包括：挂块，连接于水冷屏的横杆上；及挂件，用于悬挂所述导流筒；其中，所述挂块上开设有第一卡槽、第一球形凹槽，所述第一卡槽自所述挂块的侧面向内延伸，所述第一球形凹槽与所述第一卡槽相交且自所述挂块的顶面向下沉设；所述挂件上具有球面凸出部，所述球面凸出部与所述第一球形凹槽铰接构成球铰结构。2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：所述第一球形凹槽主要由位于所述第一卡槽两侧的挂块顶面开设的球楔缺口组成；所述球楔缺口的直径大于所述第一卡槽的宽度；所述球楔缺口的球心位于所述第一卡槽宽度方向的中垂面内。3.根据权利要求1或2所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：所述挂件包括依次连接的柱头、柱段及柱套；所述球面凸出部设于所述柱头与柱段的连接处；所述柱段与所述第一卡槽卡接连接；所述柱套与所述导流筒螺纹连接。4.根据权利要求3所述的导流筒悬挂结构，其特征在于，所述柱头背对所述柱段的一面开设有一字槽。5.根据权利要求1所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：还包括带U型缺口的垫片，所述U型缺口自所述垫片边部向内延伸至其中部、其宽度与所述第一卡槽的宽度相等；所述U型缺口终止处的垫片上下两面分别设有球形内凹部、球形外凸部；所述球形内凹部与所述球面凸出部铰接构成球铰结构，所述球形外凸部与所述第一球形凹槽铰接构成球铰结构。6.根据权利要求1或5所述的导流筒悬挂结构，其特征在于：所述挂块上还开设有第二卡槽、第二球形凹槽；所述第二卡槽自所述挂块远离所述第一卡槽的侧面向内延伸，所述第二球形凹槽与所述第二卡槽相交且自所述挂块的顶面向下沉设；所述第二卡槽与所述第一卡槽沿所述横杆的长度方向错开设置，所述球面凸出部可与所述第二球形凹槽铰接构成球铰结构。7.根据权利要求6所述的导流筒悬挂结构，其特征在于，所述第二卡槽与第一卡槽均为圆弧卡槽，且与所述水冷屏同心。8.根据权利要求7所述的导流筒悬挂结构，其特征在于，所述第二卡槽到水冷屏中心的距离大于所述第一卡槽到水冷屏中心的距离。9.根据权利要求6所述的导流筒悬挂结构，其特征在于，所述挂块顶面两端分别设有向上凸起的挡条，所述挡条位于所述第一卡槽和第二卡槽所在侧面的上方、用于所述垫片的限位。10.单晶炉，其特征在于，包括导流筒及水冷屏，所述导流筒通过权利要求1～9中任意一项所述的悬挂结构与所述水冷屏相连接。2CN114108071A说明书1/5页导流筒悬挂结构及单晶炉技术领域[0001]本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体涉及一种导流筒悬挂结构及单晶炉。背景技术[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接，副炉室放在翻板阀上，主炉室是单晶炉的心脏部位，且热场系统安装在主炉室内。[0003]单晶炉热场是由加热、保温系统及石墨元器件组成并形成一定温度分布的温度场。石墨元器件主要包括：加热器、保温筒、导流筒、炉底护盘、上保温盖等其他部件。导流筒由内导流筒、外导流筒、导流筒环毡及高纯钼连杆、导流筒支撑环等组成，装配好的导