一种自动调控高效单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114232087A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111418878.3(22)申请日2021.11.26(71)申请人祝飞燕地址334000江西省上饶市信州区龙潭路62号(72)发明人祝飞燕(51)Int.Cl.C30B27/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种自动调控高效单晶炉(57)摘要本发明公开了一种自动调控高效单晶炉，包括单晶炉，单晶炉的上端面上固设有拉晶箱，拉晶箱内设有拉晶机，单晶炉的上端面内设有两个左右对称的入料口，齿圈处设有入料开关，单晶炉的左右两端面上设有吹气机构，单晶炉内开设有单晶腔，单晶腔的下侧壁上固设有石墨板，石墨板内设有坩埚，石墨板的下端面固设有固定箱，固定箱内设有变速机构，当坩埚内的结晶熔融物逐渐减少时，弹簧圈推动摩擦块相互靠近，推力弹簧推动位于上侧的滑块上下移动，通过从动摩擦轮的移动改变传动比，防止出现生产缺陷，间接的提高单晶拉伸效率，坩埚上升能够保持籽晶夹持器与结晶熔融物的接触，通过温度检测器对吸热筒内的温度进行检测，方便使用者进行观察维修。CN114232087ACN114232087A权利要求书1/2页1.一种自动调控高效单晶炉，包括单晶炉（10），其特征在于：所述单晶炉（10）的上端面上固设有拉晶箱（11），所述拉晶箱（11）内设有用于拉晶的拉晶机（67），所述单晶炉（10）的上端面内转动设有齿圈（38），所述齿圈（38）内设有两个左右对称的入料口（39），所述齿圈（38）处设有用于封闭所述入料口（39）的入料开关（68），所述单晶炉（10）的左右两端面上均固设有抽气泵（22），两个所述抽气泵（22）相互靠近的一端设有用于控制各通道开关的吹气机构（69），所述单晶炉（10）内开设有单晶腔（60），所述单晶腔（60）的下侧壁上固设有石墨板（20），所述石墨板（20）内设有能够转动的坩埚（19），所述坩埚（19）内盛放多晶材料，所述石墨板（20）的下端面与所述单晶腔（60）的上侧壁上固设有固定箱（58），所述固定箱（58）内设有用于控制所述坩埚（19）旋转速度的变速机构（70），所述单晶腔（60）的左右两侧壁上均固设有吸热板（45），两个所述吸热板（45）相互靠近的一端均连接有加热器（21）。2.根据权利要求1所述的一种自动调控高效单晶炉，其特征在于：所述吹气机构（69）包括固嵌在所述单晶腔（60）左右两侧壁内的管道（23），两个所述管道（23）内均左右开通设有气腔（26），两个所述气腔（26）相互远离的一端窄，两个所述管道（23）相互靠近的一端均固设有固定杆（24），两个所述固定杆（24）相互远离的一端均连接设有复位弹簧（28），两个所述气腔（26）的前后两侧壁上均开设有滑槽（27），两个所述滑槽（27）内设有能够左右滑动的滑球（29），两个所述复位弹簧（28）与对应的所述滑球（29）连接，两个所述气腔（26）内均设有能够左右滑动的活塞（31），两个所述活塞（31）相互靠近的有单均固设有连接杆（30），所述连接杆（30）能够插入对应的所述滑球（29）内卡接，两个所述活塞（31）的下端均连接有出气拉绳（32），两个所述滑球（29）相互靠近的一端均连接有入料拉绳（25），两个所述气腔（26）均能够与所述单晶腔（60）连通。3.根据权利要求2所述的一种自动调控高效单晶炉，其特征在于：所述入料开关（68）包括转动设置在所述单晶腔（60）上侧壁上的两个左右对称的导向轮（33），所述单晶腔（60）的上侧开设有两个左右对称的控制腔（44），两个所述控制腔（44）内均设有能够转动的转动轴（37），两个所述转动轴（37）的外周上均固设有绳轮（35）和齿轮（36），两个所述控制腔（44）与对应的所述绳轮（35）之间均连接有扭簧（34），两个所述扭簧（34）的扭向相反，所述入料拉绳（25）相互靠近与同侧的所述导向轮（33）缠绕后、向上延伸缠绕在所述绳轮（35）的外周上，两个所述转动轴（37）相互靠近的一端均所述齿圈（38）啮合，所述齿圈（38）的内周上固设有两个左右对称的挡板（40），两个所述挡板（40）滑动插入所述入料口（39）内起到封闭作用。4.根据权利要求1所述的一种自动调控高效单晶炉，其特征在于：所述变速机构（70）包括固设在所述单晶炉（10）下端面上的动力电机（52），所述动力电机（52）的上端动力连接有动力轴（53），所述动力轴（53）的外周上固设有主动摩擦轮（64），所述固定箱（58）内开设有变速腔（43），所述变速腔（43）的上侧开设有环形的滑轨（57），所述滑轨（57）内滑动设有两个左右对称的滑块（54），所述滑块（5