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一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法.pdf
2023-06-15
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增梅****主啊
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本发明公开的一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座上设有单晶炉主体，所述单晶炉主体用于生产单晶棒，所述单晶炉底座左侧设有机架，所述机架前侧端面上设有单晶棒拆卸机构，所述单晶棒拆卸机构用于提供拆卸单晶棒所需的横移运动以及储存单晶棒所需的旋转运动，所述单晶棒拆卸机构上设有单晶棒夹持机构，所述机架上设有位于所述单晶棒夹持机构下侧的单晶棒储存机构，所述单晶棒储存机构用于储存单晶棒，本发明能实现自动化拆卸单晶棒，有效避免人员在拆卸转运过程中被烫伤，且无需在转运单晶棒时二次装夹单晶棒，
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单晶炉晶棒定位装置及采用单晶炉晶棒定位装置的单晶炉。一种单晶炉晶棒定位装置，包括连接部、圆柱体收容部、伸缩部、纵向引导件及固定件。连接部一端与圆柱体收容部的中部连接，连接部的另一端设置有定位孔，且连接部与圆柱体收容部的侧壁垂直。伸缩部设置在圆柱体收容部内且伸缩部的一端伸出圆柱体收容部，且伸缩部的伸出圆柱体收容部的一端设置有用于定位晶棒的定位摇臂，定位摇臂与圆柱体收容部的轴线垂直；伸缩部的被收容在圆柱体收容部内的另一端设置用固定孔。纵向引导件设置在圆柱体收容部的引导孔中且与伸缩部接触，纵向引导件还与圆柱体收
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