脱脂炉及脱脂方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114322558A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202110375410.4F27D21/00(2006.01)(22)申请日2021.04.08C04B35/638(2006.01)F22G1/00(2006.01)(30)优先权数据2020-1637772020.09.29JP(71)申请人株式会社岛津制作所地址日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地(72)发明人田中优吉冈尚规(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270代理人薛恒王琳(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D7/02(2006.01)F27D19/00(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图6页(54)发明名称脱脂炉及脱脂方法(57)摘要本发明提供一种可在适当的时间内进行脱脂的脱脂炉及脱脂方法。脱脂炉(10)包括：炉主体(14)，收容被脱脂物(12)；对所述炉主体(14)供给的惰性气体的气体源(16)；加热装置(30)，对所述惰性气体进行加热；以及气体监视器(18)，对自所述被脱脂物(12)产生的气体进行检测。脱脂方法包括：在炉主体(14)收纳被脱脂物(12)的工序；使惰性气体升温的工序；利用所述升温后的惰性气体对被脱脂物(12)进行脱脂的工序；以及利用气体监视器(18)对自所述被脱脂物(12)产生的气体进行检测的工序。CN114322558ACN114322558A权利要求书1/2页1.一种脱脂炉，包括：炉主体，收容被脱脂物并进行脱脂；以及气体监视器，对自所述被脱脂物产生的气体进行检测。2.根据权利要求1所述的脱脂炉，更包括：对所述炉主体供给的惰性气体的气体源；以及加热装置，对所述惰性气体进行加热。3.根据权利要求2所述的脱脂炉，更包括控制装置，所述控制装置根据由所述气体监视器检测到的气体对所述气体源和/或所述加热装置进行控制。4.根据权利要求1所述的脱脂炉，更包括：生成饱和蒸汽的饱和蒸汽生成装置或液体的液体源；以及过热器，由饱和蒸汽或液体生成对所述炉主体供给的过热蒸汽。5.根据权利要求4所述的脱脂炉，更包括控制装置，所述控制装置根据由所述气体监视器检测到的气体对所述饱和蒸汽生成装置或所述液体源、和/或所述过热器进行控制。6.根据权利要求1所述的脱脂炉，更包括：对所述炉主体供给的惰性气体的气体源；加热装置，对所述惰性气体进行加热；生成饱和蒸汽的饱和蒸汽生成装置或液体的液体源；以及过热器，由饱和蒸汽或液体生成对所述炉主体供给的过热蒸汽。7.根据权利要求6所述的脱脂炉，更包括控制装置，所述控制装置根据由所述气体监视器检测到的气体对所述气体源、所述加热装置、所述饱和蒸汽生成装置或所述液体源、和/或所述过热器进行控制。8.根据权利要求3、5及7中任一项所述的脱脂炉，其中由所述气体监视器检测到的气体存在多种，所述控制装置以针对每种气体而所述炉主体的内部空间的环境温度不同的方式，进行控制。9.根据权利要求1至7中任一项所述的脱脂炉，其中所述气体监视器包括傅里叶变换红外分光光度计。10.根据权利要求1至7中任一项所述的脱脂炉，包括：所述气体监视器，对自所述炉主体排出的气体进行侦测；以及温度计，对自所述炉主体排出的气体进行测量。11.一种脱脂方法，包括：在炉主体收纳被脱脂物的工序；对所述被脱脂物进行脱脂的工序；以及利用气体监视器对自所述被脱脂物产生的气体进行检测的工序。12.根据权利要求11所述的脱脂方法，更包括：使惰性气体升温的工序，所述进行脱脂的工序利用升温后的所述惰性气体对所述被脱脂物进行脱脂。13.根据权利要求11所述的脱脂方法，更包括：由饱和蒸汽或液体生成过热蒸汽的工序，所述进行脱脂的工序利用所述过热蒸汽对所述被脱脂物进行脱脂。2CN114322558A权利要求书2/2页14.根据权利要求11所述的脱脂方法，更包括：使惰性气体升温的工序；以及由饱和蒸汽或液体生成过热蒸汽的工序，所述进行脱脂的工序利用升温后的所述惰性气体、所述过热蒸汽或其两者对所述被脱脂物进行脱脂。15.根据权利要求12至14中任一项所述的脱脂方法，包括根据由所述气体监视器检测到的气体对向所述脱脂炉的惰性气体、过热蒸汽或其两者的供给进行控制的工序。16.根据权利要求12至14中任一项所述的脱脂方法，其中由所述气体监视器检测到的气体存在多种，并以针对所检测到的每种气体而所述炉主体的内部空间的环境温度不同的方式，对惰性气体的温度、过热蒸汽的温度、或其两者进行控制。17.根据权利要求11所述的脱脂方法，其中所述气体监视器包括傅里叶变换红外分光光度计。18.根据权利要求11所述的脱脂方法，包括：利用所述气体监视器对自所述炉主体排出的气体进行侦测的工序；以及