单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114411244A(43)申请公布日2022.04.29(21)申请号202210088981.4(22)申请日2022.01.25(71)申请人苏州轻装工力机电有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市巴城镇东平路399号第6幢厂房(72)发明人倪鹏闫树良武少杰倪志刚(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人王丽莎(51)Int.Cl.C30B15/30(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图5页(54)发明名称单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件(57)摘要本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件。卷丝轮组件包括壳体、转动轴、卷丝轮、丝杆、第一螺母、配重件以及导杆。壳体具有第一密封腔，卷丝轮位于第一密封腔内，卷丝轮与转动轴连接。丝杆与转动轴连接，丝杆的螺纹和卷丝轮的螺纹旋向相反；第一螺母与丝杆连接；配重件与第一螺母连接；导杆与壳体连接，第一螺母或者配重件与导杆滑动连接。当转动轴转动时，卷丝轮的运动方向与第一螺母、配重件的运动方向相反，在前述过程中，卷丝轮等部件的重心偏移较少甚至重心几乎不偏移，极大程度地避免钨丝绳晃动的问题，从而减少在提拉过程中单晶硅晃动，减少单晶硅出现位错的概率。CN114411244ACN114411244A权利要求书1/2页1.一种单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有第一密封腔；转动轴，所述转动轴伸入所述第一密封腔并与所述壳体转动连接；卷丝轮，所述卷丝轮位于所述第一密封腔内，所述卷丝轮与所述转轴连接，且所述卷丝轮通过第一螺纹与所述壳体连接，所述转动轴转动时所述卷丝轮能沿所述转动轴的轴线方向运动；丝杆，所述丝杆与所述转动轴连接，所述丝杆具有与所述第一螺纹旋向相反的第二螺纹；第一螺母，所述第一螺母通过所述第二螺纹与所述丝杆连接；配重件，所述配重件与所述第一螺母连接；以及导杆，所述导杆与所述壳体连接，所述第一螺母或者所述配重件与所述导杆滑动连接。2.根据权利要求1所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述单晶炉用卷丝轮组件还包括罩体，所述罩体与所述壳体连接，所述罩体与所述壳体围成第二腔体，所述丝杆、所述第一螺母、所述配重件、所述导杆均位于所述第二腔体内。3.根据权利要求2所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述第二腔体为密封腔；可选地，所述第二腔体与所述第一密封腔连通；可选地，所述罩体与所述壳体一体设置。4.根据权利要求1所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，单晶炉用卷丝轮组件还包括导向套，所述导向套可滑动地套设于所述导杆外，且所述导向套与所述配重件连接。5.根据权利要求1所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述单晶炉用卷丝轮组件还包括与所述壳体连接且位于所述第一密封腔内的第二螺母，所述第二螺母通过所述第一螺纹与所述卷丝轮螺纹连接。6.根据权利要求1‑5任一项所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述单晶炉用卷丝轮组件还包括减速器、联轴器和编码器；所述减速器与所述转动轴连接，所述转动轴远离所述丝杆的一端与所述联轴器连接，所述联轴器的绝缘部与所述编码器连接。7.根据权利要求6所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述编码器与所述减速器绝缘连接。8.根据权利要求7所述的单晶炉用卷丝轮组件，其特征在于，所述减速器与支架绝缘连接，所述编码器安装于所述支架；可选地，所述支架与所述减速器通过螺栓连接，所述螺栓与所述支架之间设置有绝缘套；可选地，所述减速器与所述支架之间设置有绝缘垫片。9.一种单晶炉晶体生长提升装置，其特征在于，所述单晶炉晶体生长提升装置包括：底座；支撑盘，所述支撑盘与所述底座转动连接；权利要求1‑8任一项所述的单晶炉用卷丝轮组件，所述单晶炉用卷丝轮组件安装于所述支撑盘；以及旋转驱动组件，所述旋转驱动组件用于驱动所述支撑盘和所述单晶炉用卷丝轮组件转2CN114411244A权利要求书2/2页动。10.一种卷丝轮组件，其特征在于，包括：安装架，转动轴，所述转动轴与所述安装架转动连接；卷丝轮，所述卷丝轮通过第一螺纹与所述转动轴连接，所述转动轴转动时所述卷丝轮能沿所述转动轴的轴线方向运动；丝杆，所述丝杆与所述转动轴连接，所述丝杆具有与所述第一螺纹旋向相反的第二螺纹；螺母，所述螺母通过所述第二螺纹与所述丝杆连接；配重件，所述配重件与所述螺母连接；以及导杆，所述导杆与所述安装架连接，所述螺母或者所述配重件与所述导杆滑动连接。3CN114411244A说明书1/7页单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件技术领域[0001]本申请涉及机械领域，具体而言，涉及一种单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉