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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114438583A(43)申请公布日2022.05.06(21)申请号202111597255.7(22)申请日2021.12.24(71)申请人宁晋晶兴电子材料有限公司地址055550河北省邢台市宁晋县高新技术开发区(72)发明人刘军波牛照伦王三朋(74)专利代理机构北京市万慧达律师事务所11111专利代理师史雅琪(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称一种用于单晶炉的加料装置(57)摘要本发明属于单晶硅生产设备技术领域,具体公开了一种用于单晶炉的加料装置,包括:加料筒,用以储料和向单晶炉内加料,外侧壁上设有定位槽;法兰,套设于所述加料筒外侧;支撑件,固定设置于所述定位槽内;连接件,将所述法兰和所述支撑件固定相连以使所述法兰固定定位在所述加料筒上。本方案使支撑件固定定位在定位槽中,安装方便,定位稳定可靠,而且如果法兰损坏可以直接拆卸更换法兰,提高生产效率,降低成本;相比于现有利用焊接工艺来固定法兰而言,本申请利用定位槽、支撑件和连接件对法兰进行机械固定,避免环境污染,生产成本可降低约一半;而且定位槽不用进行退火、冷加工等工序,加工更加简单,可消减多项生产环节大幅度提供工作效率。CN114438583ACN114438583A权利要求书1/2页1.一种用于单晶炉的加料装置,其特征在于,包括:加料筒(1),用以储料和向单晶炉内加料,其外侧壁上设有定位槽(6);法兰(3),套设于所述加料筒(1)外侧;支撑件(2),固定设置于所述定位槽(6)内;至少一个连接件(4),将所述法兰(3)和所述支撑件(2)固定相连以使所述法兰(3)固定定位在所述加料筒(1)上。2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述连接件(4)包括:第一连接杆(401),一端穿过所述支撑件(2),另一端穿过所述法兰(3);多个第一锁紧件(402),与所述第一连接杆(401)可拆卸连接,使所述第一连接杆(401)分别与所述法兰(3)和所述支撑件(2)紧固连接。3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述第一连接杆(401)为包括螺杆和头部的螺栓,所述第一锁紧件(402)为与所述第一连接杆(401)的螺杆匹配的螺母;所述支撑件(2)与所述法兰(3)上均开设有供所述第一连接杆(401)的螺杆穿过的通孔,所述第一连接杆(401)的螺杆从所述法兰(3)的下侧向上穿过所述法兰(3)和所述支撑件(2)上的通孔,使得所述第一连接杆(401)的头部抵在所述法兰(3)的下侧面,且在所述法兰(3)的上侧面锁紧有至少一个所述第一锁紧件(402),在所述支撑件(2)的下侧面锁紧有至少一个所述第一锁紧件(402),以及,在所述支撑件(2)的上侧面锁紧有至少一个所述第一锁紧件(402)。4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述法兰(3)为包括至少两个弧形体的分体式结构,且所述法兰(3)的内径与所述加料筒(1)的外径相同。5.根据权利要求4所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加料装置还包括套设在所述加料筒(1)上的圆环状的限位件(5),且所述限位件(5)内径大于所述加料筒(1)的外径,且所述限位件(5)的外径等于所述法兰(3)的外径;所述限位件(5)设置于所述法兰(3)一侧,并通过所述连接件(4)将所述法兰(3)的两个弧形体与所述限位件(5)固定连接以使两个所述弧形体组合构成所述法兰(3)。6.根据权利要求1‑5中任一项所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述定位槽(6)为周向开设于所述加料筒(1)外壁上的环形凹槽,所述支撑件(2)为与所述环形凹槽适配的卡箍。7.根据权利要求6所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述法兰(3)为聚四氟材料制成,和/或,所述支撑件(2)为聚四氟材料制成。8.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加料装置还包括用以向单晶炉内加料的放料组件,所述放料组件包括:石英锥(12),设置于所述加料筒(1)底部用以密封或打开所述加料筒(1)底部的出料口;连杆(7),同轴设置于所述加料筒(1)内,并与所述石英锥(12)相连以拉动所述石英锥(12)上下移动以密封或打开所述加料筒(1)底部的出料口。9.根据权利要求8所述的用于单晶炉的加料装置,其特征在于,所述加料筒(1)上部设有定位件,所述定位件包括固定设置于所述加料筒(1)顶部的定位板(9),所述定位板(9)上2CN114438583A权利要求书2/2页开设有导向孔,所述连杆(7)穿过所述导向孔以与驱动所述石英锥(12)上下移动的驱动装置连接。10.根据权利要求9所述的用于单