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薄膜的炉管沉积方法.pdf
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薄膜的炉管沉积方法.pdf
该发明公开了一种薄膜的炉管沉积方法，所述薄膜的炉管沉积方法包括：提供沉积炉管，所述炉管内的制程腔沿上下方向分为多个制程区域，多个温度控制器分别与多个制程区域一一对应以分别控制多个制程区域的温度；提供衬底，对所述衬底执行薄膜沉积工艺，控制各所述温度控制器，使得从上至下方向上的各所述制程区域的设定沉积温度呈梯度逐渐递减；执行退火工艺，控制各所述温度控制器，使得从上至下方向上的各所述制程区域的设定退火温度呈梯度逐渐递增。根据本发明实施例的薄膜的炉管沉积方法，使得炉管内沉积后形成的薄膜的厚度和性能较为一致稳定，提
2023-06-15
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2023-06-17
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一种沉积炉管及沉积薄膜的方法.pdf
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2023-06-19
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沉积炉管内管、沉积炉管以及沉积方法.pdf
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2023-06-15
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