光纤用多孔玻璃基材的烧结方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114804613A(43)申请公布日2022.07.29(21)申请号202210072143.8(22)申请日2022.01.21(30)优先权数据2021-0123962021.01.28JP(71)申请人信越化学工业株式会社地址日本国东京都千代田区丸之内町一丁目4番1号(72)发明人柏木佑介(74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444专利代理师王刚龚敏(51)Int.Cl.C03B37/014(2006.01)C03B37/018(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称光纤用多孔玻璃基材的烧结方法(57)摘要一种烧结设备，包括：炉芯管，其包含光纤用多孔玻璃基材，多孔玻璃基材的纵向方向沿着轴向方向；以及，多级加热器，其中两个以上加热器包围炉芯管并且沿炉芯管的轴向方向布置以在炉芯管中形成加热区。烧结方法包括在加热区中加热基材以执行第一脱水处理的步骤；以及移动基材使得在基材的纵向方向上被确定为脱水最不充分的位置处于加热区中温度最高的炉芯管的轴向方向上的位置，然后执行第二脱水处理的步骤。CN114804613ACN114804613A权利要求书1/1页1.一种光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，其特征在于，所述烧结方法使用烧结设备进行，所述烧结设备包括：炉芯管，其包含光纤用多孔玻璃基材，所述多孔玻璃基材的纵向方向沿着轴向方向；和多级加热器，其中两个以上加热器包围所述炉芯管并在所述炉芯管的所述轴向方向布置以在所述炉芯管中形成加热区，所述加热器能够彼此独立地控制温度，其中，所述烧结方法包括：第一烧结步骤，其中所述光纤用多孔玻璃基材在所述加热区中被加热以执行第一脱水处理；和第二烧结步骤，其中，对于所述第一脱水处理后的所述光纤用多孔玻璃基材，以如下方式移动所述第一脱水处理后的所述光纤用多孔玻璃基材：使得通过预定方法确定为脱水最不充分的所述光纤用多孔玻璃基材在所述纵向方向上的位置位于所述加热区中温度最高的所述炉芯管的所述轴向方向上的位置，然后进行进一步加热的第二脱水处理。2.根据权利要求1所述的光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，其中，所述第二脱水处理进行2小时以上。3.根据权利要求1所述的光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，其中，在所述第一脱水处理中，所述光纤用多孔玻璃基材在沿所述炉芯管的所述轴向方向上重复进行往复运动的同时被加热。4.根据权利要求1所述的光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，其中，在所述第二脱水处理中，在将所述第一脱水处理之后已经移动的所述光纤用多孔玻璃基材进一步加热时，在以已经移动之后的位置为中心而在所述炉芯管的轴向方向上重复进行往复运动。5.根据权利要求1所述的光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，其中，在所述第一脱水处理之后确定所述光纤用多孔玻璃基材的脱水最不充分的位置的所述预定方法为以下方法：对以与所述光纤用多孔玻璃基材相同的方式制造的另一光纤用多孔玻璃基材进行所述第一脱水处理，然后测量在高于所述第一脱水处理中的所述加热温度的温度下进行加热和烧结而生产的所述光纤用玻璃基材的预定光学性质在所述纵向方向上的分布，并基于所述测量结果来确定所述位置。2CN114804613A说明书1/6页光纤用多孔玻璃基材的烧结方法技术领域[0001]本发明涉及一种光纤用多孔玻璃基材的烧结方法，该多孔玻璃基材通过脱水和烧结玻璃基材而生产。背景技术[0002]通过在诸如玻璃棒的靶棒上沉积玻璃粒子而形成的多孔玻璃基材通过脱水和烧结制成透明玻璃，并用作光纤用玻璃基材。VAD法和OVD法用于生产光纤用多孔玻璃基材。在这些方法中，玻璃原料首先在火焰中燃烧以水解并产生细玻璃粒子，然后这些细玻璃粒子在旋转靶棒的轴向方向或径向方向上粘附，以产生光纤用多孔玻璃基材。[0003]光纤用多孔玻璃基材的脱水和烧结使用脱水和烧结设备进行，该设备配备有炉芯管和加热器，炉芯管包含由支承棒夹持的光纤用多孔玻璃基材，加热器布置在炉芯管的周围。在炉芯管的底部设置气体供应端口，通过该气体供应端口供应使光纤用多孔玻璃基材脱水和烧结所需的气体，例如卤素气体和惰性气体。另一方面，排气管设置在炉芯管的顶部，以排出炉芯管中的气体。然后，由支承棒夹持的光纤用多孔玻璃基材在炉芯管中旋转的同时下降。光纤用多孔玻璃基材在通过加热器的加热区时被脱水和烧结。[0004]作为脱水和烧结的方法，JP2010‑189251A描述了两级玻璃化方法，其中多孔玻璃基材通过设定为900‑1300℃温度的加热区而脱水。然后将脱水的多孔玻璃基材拉起一次至炉芯管中的预定位置，加热区的温度变为1400‑1600℃，然后再次通过加热区而烧结玻璃基材。然而，JP2010‑189251A中的方法具有加工时间长且生产效率低的问题。为了克服这个问题，