硒化锌尾料的回收工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114934318A(43)申请公布日2022.08.23(21)申请号202210695161.1(22)申请日2022.06.16(71)申请人安徽光智科技有限公司地址239004安徽省滁州市琅琊经济开发区南京路100号(72)发明人黄治成郭晨光尹士平(74)专利代理机构北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)11387专利代理师张向琨(51)Int.Cl.C30B29/48(2006.01)C30B28/12(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称硒化锌尾料的回收工艺(57)摘要本申请公开一种硒化锌尾料的回收工艺，其包括步骤：步骤一：原料去杂阶段，去除硒化锌表面粘附的石蜡，然后进行清洗烘干；步骤二：低温烘料，要对步骤一烘干的原料进行低温烘料，烘料温度约500‑600℃，装入沉积炉；步骤三：低压蒸发沉积，抽真空让沉积炉保持一个低压环境，并通过线性升温使温度达到1050‑1150℃，待硒化锌升华完全后，关闭加热电源和真空阀门，并将石英管抽出250‑350mm处冷却，当冷却到400‑500℃时打开保温盖进行二次冷却得到硒化锌。本公开的方法实现硒化锌边角料的二次回收利用，提高利用率，改善边角料库存堆积问题，降低对环境造成的污染。本公开使用物理气相工艺方法，生产成本低，工艺流程简单，易实现工业化生产。CN114934318ACN114934318A权利要求书1/1页1.一种硒化锌尾料的回收工艺，其包括步骤：步骤一：原料去杂阶段，去除硒化锌表面粘附的石蜡，然后进行清洗烘干；步骤二：低温烘料，要对步骤一烘干的原料进行低温烘料，烘料温度约500‑600℃，装入沉积炉；步骤三：低压蒸发沉积，抽真空让沉积炉保持一个低压环境，并通过线性升温使温度达到1050‑1150℃，待硒化锌升华完全后，关闭加热电源和真空阀门，并将石英管抽出250‑350mm处冷却，当冷却到400‑500℃时打开保温盖进行二次冷却得到硒化锌。2.根据权利要求1所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，在步骤一中的原料去杂阶段的具体步骤为：取一次装炉量2‑3kg硒化锌于喷砂机进行去石蜡20‑30min，再用汽油浸泡2‑3天，待原料表面大部分石蜡被溶解完，然后再进行超声清洗，超声清洗过程中保持水75‑85℃，最后使用超纯水清洗2‑3遍。3.根据权利要求1所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，在步骤二中，烘料时间为4‑5h。4.根据权利要求1所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，在步骤三中，抽真空的步骤为：先开启低真空泵进行抽真空，等待真空度达到临界值≤1Pa之后切换成高真空泵，确保高真空值读数0.7‑0.9P，关闭低真空泵，等高真空度≤0.9Pa时，开启加热电源进行加热升温。5.根据权利要求4所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，在步骤三中，高真空度≤0.9Pa时，开启加热电源进行加热升温，真空至温度到达1050‑1150℃，恒温，待材料完全升华后冷却，当冷却到400‑500℃时打开保温盖进行二次冷却，等冷却至常温进行出炉。6.根据权利要求5所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，真空至温度到达所定温度后，恒温30‑60h。7.根据权利要求1所述的硒化锌尾料的回收工艺，其特征在于，在步骤三中，线性升温速率控制在250℃/h。2CN114934318A说明书1/3页硒化锌尾料的回收工艺技术领域[0001]本发明涉及硒化锌尾料回收领域，具体涉及一种硒化锌尾料的回收工艺。背景技术[0002]硒化锌材料是一种黄色透明的多晶材料。由于对10.6μm波长光的吸收很小，因此成为制作高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。此外在其整个透光波段内，也是在不同光学系统中所普遍使用的材料。因此，研究硒化锌尾料回收工艺十分必要。发明内容[0003]鉴于现有技术中存在的问题，本公开的目的在于提供一种硒化锌尾料的回收工艺。[0004]为了实现上述目的，本公开提供了一种硒化锌尾料的回收工艺，其包括步骤：步骤一：原料去杂阶段，去除硒化锌表面粘附的石蜡，然后进行清洗烘干；步骤二：低温烘料，要对步骤一烘干的原料进行低温烘料，烘料温度约500‑600℃，装入沉积炉；步骤三：低压蒸发沉积，抽真空让沉积炉保持一个低压环境，并通过线性升温使温度达到1050‑1150℃，待硒化锌升华完全后，关闭加热电源和真空阀门，并将石英管抽出250‑350mm处冷却，当冷却到400‑500℃时打开保温盖进行二次冷却得到硒化锌。[0005]在一些实施例中，在步骤一中的原料去杂阶段的具体步骤为：取一次装炉量2‑3kg硒化锌于喷砂机进行去石蜡20‑30min，再用汽油浸泡2‑3天，待原料表面大部分石蜡被溶解完，然后再进行超声清洗，超声清洗过程