一种单晶炉炉体卧式加工夹具.pdf
依波****bc
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一种单晶炉炉体卧式加工夹具.pdf
本发明涉及单晶炉炉体加工技术领域,具体为一种单晶炉炉体卧式加工夹具,包括焊接台,所述焊接台上设有限位模块、绑紧模块和加工模块,所述限位模块包括活动安装于所述焊接台顶部的定位座。本发明中,在定位座上放置单晶炉炉体,手动启动第一电动推杆,第一电动推杆活动端带动两个铰接板下降,挤压板跟随下降,金属带下压,由此实现金属带对炉体进行包裹,在挤压板下降至炉体中部位置时,多个细弹簧收缩至极限,然后继续控制第一电动推杆活动端下降,两个挤压板最大限度的张开,由此导致挤压板向外移动,挤压板将金属带牢牢固定,对比以往的夹紧方式
单晶炉的炉体.pdf
本发明涉及一种单晶炉的炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)下部的侧壁上设有若干凸块(3),所述下炉体(2)上部的侧壁上设有若干箱扣(4),所述箱扣(4)与凸块(3)的数量相同,且每个箱扣(4)均设于凸块(3)的下方,所述箱扣(4)与凸块(3)相配合,所述上炉体(1)的顶部还开有观察窗(5)。这种单晶炉的炉体在上炉体的下部的侧壁上设置凸块,下炉体上部的侧壁上设置箱扣,当需要拆装上炉体和下炉体时,只要将箱扣扣紧凸块或拉开便能轻松完成,并且上炉体顶部开设了一个通孔,通孔内装上了钢
一种卧式扩散炉快速降温炉体.pdf
本发明公开了一种卧式扩散炉快速降温炉体,包括反应石英管和套设于反应石英管外的电阻炉体,反应石英管外壁与所述电阻炉体内壁之间具有横截面为环形的柱状间隙,柱状间隙的两端均设有密封件以使所述柱状间隙形成封闭的通风通道,电阻炉体上设有向所述通风通道送风的进风口和将所述通风通道内的热风排出的出风口。本发明具有可快速降温功能并可以减少温度波动对半导体制件影响的优点。
单晶炉的上炉体.pdf
本发明涉及一种单晶炉的上炉体,其特征在于:它包括上炉体本体(1),所述上炉体本体(1)包括内壁(2)和外壁(3),所述内壁(2)和外壁(3)之间设有水夹层(4),所述水夹层(4)内从上到下交错布置有若干栅板(5),所述外壁(3)上开设有与水夹层(4)相连通的进水口(6)和出水口(7),所述内壁(2)和外壁(3)的上下两端分别连有上法兰(8)和下法兰(9)。这种单晶炉的上炉体在水夹层内设有交错布置的栅板,可以增加水的停留时间,并且增加了水与内壁和外壁的接触面,提高了冷却降温的效果,从而有效吸收热量,使炉壁不
拆装方便的单晶炉炉体.pdf
本发明涉及一种拆装方便的单晶炉炉体,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种拆装方便的单晶炉炉体,其特征在于:它包括上炉体(1)和下炉体(2),所述上炉体(1)下部的侧壁上设有若干凸块(3),所述下炉体(2)上部的侧壁上设有若干箱扣(4),所述箱扣(4)与凸块(3)的数量相同,且每个箱扣(4)均设于凸块(3)的下方,所述箱扣(4)与凸块(3)相配合。这种拆装方便的单晶炉炉体在上炉体的下部的侧壁上设置凸块,并在下炉体上部的侧壁上设置箱扣,当需要用提升机构拆装上炉体和下炉体时,只要将箱扣扣紧凸块或拉开便能轻松完