半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114975183A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210607885.6(22)申请日2022.05.31(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人曹凯悦高飞王旸李凡杨浩杨哲任志豪张强(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319专利代理师苏培华(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书3页说明书15页附图6页(54)发明名称半导体工艺设备的补水控制方法和半导体工艺设备(57)摘要本发明实施例提供了一种半导体工艺设备的补水控制方法、扩散工艺方法和半导体工艺设备，该补水控制方法包括：获取各个炉管需要预约的补水时间段信息；根据各个炉管需要预约的补水时间段信息，更新当前的预约队列；根据更新的预约队列中已预约的补水时间段信息，设置液体蒸发器对各个炉管的可用状态或不可用状态，以使液体蒸发器在同一时刻只能向一个炉管进行补水。本发明通过提前获取需要预约的炉管的补水时间段信息，使得各个预约炉管可以按照时间先后顺序进行补水，避免了在工艺过程中的人工干预，通过设置液体蒸发器对各个炉管的可用状态或不可用状态，以使液体蒸发器在同一时刻只能被一个炉管占用，降低了工艺过程中出现工艺等待的概率，提高了生产效率。CN114975183ACN114975183A权利要求书1/3页1.一种半导体工艺设备的补水控制方法，其特征在于，所述半导体工艺设备包括液体蒸发器和共用所述液体蒸发器的多个炉管，所述方法包括：获取各个所述炉管需要预约的补水时间段信息；根据各个所述炉管需要预约的补水时间段信息，更新当前的预约队列；根据更新的所述预约队列中已预约的补水时间段信息，设置所述液体蒸发器对各个所述炉管的可用状态或不可用状态，以使所述液体蒸发器在同一时刻只能向一个所述炉管进行补水。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取各个所述炉管需要预约的补水时间段信息包括：对每个所述炉管，依次查询所述炉管对应的多步工艺步骤，根据所述工艺步骤的工艺类型判断所述工艺步骤是否为补水段步骤，根据所述补水段步骤的工艺开始时间和结束时间确定所述炉管需要预约的补水时间段信息。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述炉管需要预约的补水时间段信息，更新当前的预约队列包括：根据所述预约队列和各个所述炉管需要预约的补水时间段信息，对各个所述炉管进行预约处理，并根据预约处理结果，更新当前的所述预约队列。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述对各个所述炉管进行预约处理，并根据预约处理结果，更新当前的所述预约队列包括：判断当前的所述预约队列与各个所述炉管需要预约的补水时间段信息是否产生冲突；若当前的所述预约队列与各个所述炉管需要预约的补水时间段信息均发生冲突，则当前的所述预约队列不发生改变；若当前的所述预约队列与任意一个或多个所述炉管需要预约的补水时间段信息不发生冲突，则将不发生冲突的所述炉管需要预约的补水时间段信息添加到所述预约队列中，并更新当前的所述预约队列。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据更新的所述预约队列中已预约的补水时间段信息，设置所述液态蒸发器对各个所述炉管的可用状态或不可用状态，以使所述液态蒸发器在同一时刻只向一个所述炉管进行补水，包括：根据所述已预约的补水时间段信息，判断当前时间是否到达所述已预约的补水时间段信息；当所述当前时间到达所述已预约的补水时间段信息，设置所述液态蒸发器对所述当前时间到达所述已预约的补水时间段对应的所述炉管为可用状态，对其余的所述炉管为不可用状态；当所述当前时间未到达所述已预约的补水时间段信息，设置所述液态蒸发器对各个所述炉管均为可用状态。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述当所述当前时间到达所述已预约的补水时间段信息，设置所述液态蒸发器对所述当前时间到达所述已预约的补水时间段对应的所述炉管为可用状态，对其余的所述炉管为不可用状态，包括：当所述当前时间到达所述已预约的补水时间段信息，判断所述当前时间所述液态蒸发器为空闲状态还是占用状态；2CN114975183A权利要求书2/3页若所述当前时间所述液态蒸发器为空闲状态，则设置所述液态蒸发器对所述当前时间到达的所述已预约的补水时间段对应的所述炉管为可用状态，对其余的所述炉管为不可用状态；若所述当前时间所述液态蒸发器为占用状态，则判断占用所述液态蒸发器的所述炉管是否在进行手动补水；若占用所述液态蒸发器的所述炉管在进行手动补水，则所述炉管释放对所述液态蒸发器的占用，设置所述液态蒸发器对所述当前时间到达所述已预约的补水时间段对应的所述炉