一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106835278A(43)申请公布日2017.06.13(21)申请号201710024371.7(22)申请日2017.01.13(71)申请人许昌天戈硅业科技有限公司地址461700河南省许昌市襄城县城北产业集聚区(72)发明人蔺崇召姚刚孙占喜李吾臣(74)专利代理机构洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120代理人时国珍(51)Int.Cl.C30B29/20(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B15/14(2006.01)C30B15/10(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉(57)摘要本发明公开供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉，生长炉加热器，包括环形基筒、加热环以及电机，加热环设置在环形基筒的内壁上，且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接，炉体的炉盖上对称设置有两个电机，电机与控制器通过导线连接，电机的输出轴上绕设有提拉线，提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。本发明的蓝宝石晶体生长炉为较为环保的低能耗生长炉，生长炉内的加热器可灵活调节，并且长晶炉还配有换热器，换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换，利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温，带有热量的保护气进入炉体内，能进一步提高炉内的保温效果，实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。CN106835278ACN106835278A权利要求书1/1页1.一种晶体生长炉加热器，其特征在于：所述加热系统包括环形基筒（16）、加热环（17）以及用于驱动基筒上下移动的电机（18），加热环（17）设置在环形基筒（16）的内壁上，且加热环（17）通过导线与炉体（1）外部的加热元件电源和控制器连接，所述炉体（1）的炉盖上对称设置有两个电机（18），电机（18）与控制器通过导线连接，电机（18）的输出轴上绕设有提拉线（19），提拉线（19）的下端穿过炉体（1）并与环形基筒（16）的上端固定连接。2.如权利要求1所述一种晶体生长炉加热器，其特征在于：所述提拉线（19）上设置有温度传感器，温度传感器通过导线与控制器连接。3.一种蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：包括权利要求1或权利要求2所述的晶体生长炉加热器。4.如权利要求3所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：晶体生长炉还包括炉体（1）、坩埚（2）、冷却器（3）和换热器（4）；所述炉体（1）的内壁和底壁上均设置有隔热层（5），炉体（1）的侧壁上部设置有用于向炉体（1）内部充入惰性保护气的进气孔（6），炉体（1）的侧壁下部设置有用于抽真空的排气孔（7），所述坩埚（2）设置在炉体（1）内部，炉体（1）的顶部中心位置设置可供拉晶杆（8）穿过的通孔，拉晶杆（8）的下端穿过该通孔并置于坩埚（2）上方，且拉晶杆（8）的下端端头设置有籽晶（9）；所述坩埚（2）的底部设置有冷却组件，冷却组件包括与坩埚（2）底部紧密贴合的水冷盘（10）以及用于支撑水冷盘（10）的支杆（11），水冷盘（10）的内部盘设有水冷管（12），炉体（1）的底部对应支杆（11）的下端处设置有管道口，所述支杆（11）为中空杆体，水冷管（12）的进水端和出水端均穿过支杆（11）内部并置于炉体（1）外；所述水冷管（12）的出水端连接有排水管（13），排水管（13）的尾端分为两根支管，其中一根支管连接至换热器（4）的循环水流道进口，另外一根支管连接至冷却器（3）的进水口，且两根支管上均设置有流量控制阀（14），流量控制阀（14）通过导线与控制器连接，换热器（4）的循环水流道出口和冷却器（3）的出水口通过管道汇集后经进水管（15）连接至水冷管（12）的进水端，所述换热器（4）的保护气流道进口连接至供气系统，换热器（4）的保护气流道出口连接至炉体（1）上的进气孔（6）；所述冷却器包括箱体（20）、分流器（21）、汇流器（22）和三组平行设置的冷却管道，分流器（21）和汇流器（22）分别设置在箱体（20）相对的两端，分流器（21）包括前表面设置的一个进水口和后表面设置的三组分流口，每组分流口包括两个通水口，分流器（21）的每一组分流口都设置一个分流调节阀，且分流调节阀与控制器通过线路控制连接，汇流器（22）包括前表面设置的三组汇流口和后表面设置的一个出水口，每组汇流口包括两个通水口，汇流器（22）的出水口处设置有温度传感器，且温度传感器与控制器通过线路控制连接，所述冷却管道包括直流管（23）和螺旋管（24），直流管（23）设置在螺旋管（24）的螺旋中心，冷却管道的前端通过分流调节阀与分流器（21）连接，末端与汇流器（22）的汇流口连接。5.如权利要求4所述的一种蓝宝石晶体生长炉，其特征在