一种La-Hf合金靶材及其制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115029599A(43)申请公布日2022.09.09(21)申请号202210723095.4(22)申请日2022.06.24(71)申请人江西中锡金属材料有限公司地址341400江西省赣州市南康区龙华工业园(72)发明人黄金龙鲁晓超(74)专利代理机构深圳市洪荒之力专利代理有限公司44541专利代理师庄露露(51)Int.Cl.C22C28/00(2006.01)C22C1/03(2006.01)C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种La-Hf合金靶材及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种La‑Hf合金靶材及其制备方法，涉及合金靶材制备技术领域，合金成分的质量百分比含量为：La为10%‑50%，Hf为余量；La‑Hf合金靶材的制备方法，包括以下步骤：La‑Mg合金铸锭、金属Hf的计算、称重；放入炼炉设备中，抽真空，随后充入氩气；升温，进行电磁搅拌，使得La‑Mg合金中的所有镁元素完全挥发；冷却，浇铸到铸铁模具中，制备获得La‑Hf合金靶；La‑Mg合金铸锭中Mg的重量百分比为30‑60%，余量为La；解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象，制备得到的La‑Hf合金靶成分均匀，含氧量低，在不降低生产效率的情况下，有效提升了产品的质量。CN115029599ACN115029599A权利要求书1/1页1.一种La‑Hf合金靶材，其特征在于，合金成分的质量百分比含量为：La为10%‑50%，Hf为余量。2.一种如权利要求1所述的La‑Hf合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1）对La‑Mg合金铸锭、金属Hf进行计算、称重，将La‑Mg合金铸锭和金属Hf放入炼炉设备中，抽真空，随后充入氩气；2）升温，进行电磁搅拌，使得La‑Mg合金中的所有镁元素完全挥发，且La和Hf元素充分混合均匀；1）冷却，浇铸到铸铁模具中，制备获得La‑Hf合金靶。3.根据权利要求2所述的La‑Hf合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤1）中，La‑Mg合金铸锭中Mg的重量百分比为30‑60%，余量为La。4.根据权利要求2所述的La‑Hf合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤1）中，熔炼设备为真空中频感应熔炼炉，先将设备抽真空至6.67×10‑2Pa以下，再充入氩气至真空达到0.01Mpa‑0.1Mpa。5.根据权利要求2所述的La‑Hf合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤2）中，加热升温至2250‑2500℃，保温时间为30‑60min，同时进行电磁搅拌，搅拌时间大于15min。6.根据权利要求2所述的La‑Hf合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤1）中，所述La‑Mg合金铸锭的制备方法包括以下步骤：1）将金属La和金属Mg放入真空中频感应熔炼炉设备，抽真空至6.67×10‑2Pa以下，充入氩气至真空达到0.05Mpa‑0.1Mpa；2）加热升温至1200‑1800℃，保温时间为10‑40min，同时进行电磁搅拌，且La和Mg元素充分混合均匀；3）冷却，浇铸到铸铁模具中，制备获得La‑Mg合金铸锭。2CN115029599A说明书1/3页一种La‑Hf合金靶材及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及合金靶材制备技术领域，具体是一种La‑Hf合金靶材及其制备方法。背景技术[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下，溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源；更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。[0003]在进行La‑Hf合金靶材的制备时，通常将金属Hf与金属La混合后加热制成，制备得到的合金靶容易出现分层的现象，影响后续的靶材使用。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种La‑Hf合金靶材及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种La‑Hf合金靶材，合金成分的质量百分比含量为：La为10%‑50%，Hf为余量。[0006]所述La‑Hf合金靶材的制备方法，包括以下步骤：1）对La‑Mg合金铸锭、金属Hf进行计算、称重，将La‑Mg合金铸锭和金属Hf放入炼炉设备中，抽真空，随后充入氩气；2）升温，进行电磁搅拌，使得La‑Mg合金中的所有镁元素完全挥发，且La和Hf元素充分混合均匀；3）冷却，浇铸到铸铁模具中，制备获得La‑Hf合金靶。[0007]作为本发明进一步的方案：在步骤1）中，La‑Mg合金铸锭中Mg的重量百分比为30‑60%，余量为La。[0008]作为本发明进一步的方案：在步骤1）中，熔炼设备为真空中频感应熔炼炉，先将设备抽真空至6.67×10‑2Pa