一种新型桨位结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115233190A(43)申请公布日2022.10.25(21)申请号202210897110.7(22)申请日2022.07.28(71)申请人阜宁苏民绿色能源科技有限公司地址224400江苏省盐城市阜宁县经济开发区香港路888号(72)发明人张从飞(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224专利代理师董建林(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/50(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种新型桨位结构(57)摘要本发明公开一种新型桨位结构，包括炉门，所述炉门连接有两个桨杆，两个所述桨杆上靠近所述炉门侧和远离所述炉门侧分别设置有炉口桨夹和炉尾桨夹，两个所述桨杆上滑动设置有滑块，所述滑块位于所述炉口桨夹和炉尾桨夹之间，所述滑块上设置有紧固螺栓，所述紧固螺栓下端旋入到所述滑块中，所述滑块内壁上设置有开槽，所述开槽内设置有止动块，所述紧固螺栓下端与所述止动块上面接触。本发明提供的一种新型桨位结构，能够确保桨位水平,解决电池片在炉管中的搭接现象，改善片内均匀性，减少返工片的产生。CN115233190ACN115233190A权利要求书1/1页1.一种新型桨位结构，其特征在于：包括炉门(1)，所述炉门(1)连接有两个桨杆(2)，两个所述桨杆(2)上靠近所述炉门(1)侧和远离所述炉门(1)侧分别设置有炉口桨夹(3)和炉尾桨夹(4)，两个所述桨杆(2)上滑动设置有滑块(5)，所述滑块(5)位于所述炉口桨夹(3)和炉尾桨夹(4)之间，所述滑块(5)上设置有紧固螺栓(6)，所述紧固螺栓(6)下端旋入到所述滑块(5)中，所述滑块(5)内壁上设置有开槽，所述开槽内设置有止动块(7)，所述紧固螺栓(6)下端与所述止动块(7)上面接触。2.根据权利要求1所述的一种新型桨位结构，其特征在于：所述紧固螺栓(6)和的防滑块(7)个数均为两个，分别与两个桨杆(2)配合使用。3.根据权利要求1所述的一种新型桨位结构，其特征在于：所述止动块(7)的材质与所述滑块(5)的材质相同。4.根据权利要求1所述的一种新型桨位结构，其特征在于：所述滑块(5)的形状为拱形结构。5.根据权利要求1所述的一种新型桨位结构，其特征在于：所述滑块(5)的个数为1个。6.根据权利要求1所述的一种新型桨位结构，其特征在于：所述滑块(5)的形状为长方体形。2CN115233190A说明书1/2页一种新型桨位结构技术领域[0001]本发明涉及一种新型桨位结构，属于太阳能电池板制造技术领域。背景技术[0002]太阳能是绿色清洁能源，使用太阳能电池发电是人们利用太阳能最常用的一种措施。在太阳能电池制程中，制备氮化硅减反射膜是生产高效率太阳能电池的重要环节。氮化硅膜通常采用PECVD技术生成。PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)又称等离子体增强化学气相沉积法，技术原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，再局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在硅片上沉积出所期望的薄膜。目前市场上PECVD有板式和管式两种，管式PECVD以它低温生膜、成膜速度快且较为均匀等诸多优势而被广泛使用。管式PECVD在长时间生产中，主机台的桨位会产生倾斜，导致硅片在炉管中搭接，形成射频报警，而产出批量片内均匀性差的电池片并且进行返工，浪费大量的人力物力，影响生产的产量。发明内容[0003]本发明要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种新型桨位结构，能够确保桨位水平,解决电池片在炉管中的搭接现象，改善片内均匀性，减少返工片的产生。[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：[0005]一种新型桨位结构，包括炉门，所述炉门连接有两个桨杆，两个所述桨杆上靠近所述炉门侧和远离所述炉门侧分别设置有炉口桨夹和炉尾桨夹，两个所述桨杆上滑动设置有滑块，所述滑块位于所述炉口桨夹和炉尾桨夹之间，所述滑块上设置有紧固螺栓，所述紧固螺栓下端旋入到所述滑块中，所述滑块内壁上设置有开槽，所述开槽内设置有止动块，所述紧固螺栓下端与所述止动块上面接触。[0006]所述紧固螺栓和的防滑块个数均为两个，分别与两个桨杆配合使用。[0007]所述止动块的材质与所述滑块的材质相同。[0008]所述滑块的形状为拱形结构。[0009]所述滑块的个数为1个。[0010]所述滑块的形状为长方体形。[0011]本发明的有益效果：本发明提供的一种新型桨位结构，在炉口和炉尾桨夹之间增加一个滑块，能够有效地利用滑块的可移动特性，和浆夹同时受力，在桨位发生偏差时,滑块可以往偏差处移动，确保桨位水平，确保桨位水平，解决电池片在炉管中的搭接现