一种单晶炉副室管道清扫机器人.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115261971A(43)申请公布日2022.11.01(21)申请号202210829871.9(22)申请日2022.07.15(71)申请人南京晶能半导体科技有限公司地址210046江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧(72)发明人罗汉昌姜宏伟(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204专利代理师张弛(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)B08B9/032(2006.01)B08B9/035(2006.01)B08B9/051(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称一种单晶炉副室管道清扫机器人(57)摘要本发明公开了一种单晶炉副室管道清扫机器人，包括攀爬装置、安装于攀爬装置上的清洁装置、电源及控制装置、跟随照明及云台相机检测部件。该清扫机器人通过攀爬装置在管道内壁上攀爬。同时，在管道的攀爬过程中，通过清洁装置对管道内可以攀爬到的各个位置进行。该清扫机器人能够代替人力人工远程操作控制，避免使用人力在管道内部爬高的安全隐患，实现对管道内的无人自动化清扫。CN115261971ACN115261971A权利要求书1/2页1.一种单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于：包括攀爬装置及安装于攀爬装置上的清洁装置；所述攀爬装置包括上基体、下基体、若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸缩杆；所述若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸缩杆均安装于上基体与下基体之间；第一攀爬部件包括第一伸缩杆、与第一伸缩杆配合的第一攀爬腿；第一伸缩杆伸长时，第一攀爬腿向内收；第一伸缩杆缩短时，第一攀爬腿向外扩张；第二攀爬部件包括第二伸缩杆、与第二伸缩杆配合的第二攀爬腿；第二伸缩杆伸长时，第二攀爬腿向内收；第二伸缩杆缩短时，第二攀爬腿向外扩张；所述第一攀爬腿位于第二攀爬腿的上方；所述清洁装置包括周向设置的若干清洁刷。2.根据权利要求1所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述第一攀爬部件包括安装于上基体并向下基体方向延伸的第一收容杆，所述第一收容杆具有上下延伸的第一收容槽，所述第一伸缩杆的一端安装于第一收容槽的底部，第一伸缩杆的另一端与第一攀爬腿的中间位置铰接，第一攀爬腿位于第一伸缩杆上方，第一攀爬腿的后端铰接于第一收容槽内，第一攀爬腿的前端延伸出第一收容槽，第一伸缩杆与第一攀爬腿的铰接处为第一攀爬腿的杠杆支点；所述第二攀爬部件包括安装于下基体并向上基体方向延伸的第二收容杆，所述第二收容杆具有上下延伸的第二收容槽，所述第二伸缩杆的一端安装于第二收容槽的底部，第二伸缩杆的另一端与第二攀爬腿的中间位置铰接，第二攀爬腿位于第二伸缩杆下方，第二攀爬腿的后端铰接于第二收容槽内，第二攀爬腿的前端延伸出第二收容槽，第二伸缩杆与第二攀爬腿的铰接处为第二攀爬腿的杠杆支点。3.根据权利要求1或2所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述清洁装置包括安装于上基体上的主体、通过轴承安装于主体外围上端并围绕主体转动的转动部、位于转动部下方的套筒、通过轴承安装于套筒外侧的旋转齿轮、安装于套筒底部的升降齿轮、驱动升降齿轮转动的第一电机、驱动旋转齿轮转动的第二电机；所述旋转齿轮与清洁刷底部之间连接有第一连杆，第一连杆的底部与旋转齿轮铰接，第一连杆的顶部与清洁刷底部铰接，清洁刷内侧与转动部外侧之间连接有第二连杆，第二连杆的一端与清洁刷内侧铰接而另一端与转动部外侧铰接；当升降齿轮上升而靠近转动部时，清洁刷相对转动部向外移动。4.根据权利要求3所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述主体内安装有风机、位于风机上方的过滤器、位于风机下方的流道，所述主体外侧周向设有一圈吹气口，该吹气口与流道连通；风机工作时，风机上方形成负压。5.根据权利要求4所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述主体上还设有围绕主体周向设置的进气口，所述转动部上设有围绕转动部周向设置的吸入通道，吸入通道位于清洁刷内侧，吸入通道与进气口连通；所述进气口位于过滤器上方且与过滤器进口连通。6.根据权利要求5所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述主体的顶端设有喷剂喷嘴，主体内设有存贮壶、连接存贮壶的微型泵及电动阀，通过微型泵及电动阀将喷2CN115261971A权利要求书2/2页剂输送到喷剂喷嘴。7.根据权利要求1所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述主体顶部设有光源及云台相机，云台相机配备无线视频连接模块用以将采集图像传输至管道外的监视器。8.根据权利要求3所述的单晶炉副室管道清扫机器人，其特征在于，所述上基体为环状；若干第一攀爬部件、若干第二攀爬部件、若干攀爬伸缩杆围成一圈的排列于上基体与下基体之间；所述主体的下半部分自上基体向下