一种高精度控温的沉积系统及其测温方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115290206A(43)申请公布日2022.11.04(21)申请号202211026391.5(22)申请日2022.08.25(71)申请人湖南顶立科技有限公司地址410000湖南省长沙市中国（湖南）自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地（长龙街道）凉塘东路1271号(72)发明人胡祥龙戴煜周岳兵魏巍肖乐王艳艳(74)专利代理机构长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙)43244专利代理师张毅(51)Int.Cl.G01K7/02(2021.01)G01K3/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种高精度控温的沉积系统及其测温方法(57)摘要本发明公开了一种高精度控温的沉积系统及其测温方法，沉积系统包括从内到外的沉积室、石墨坩埚、保温模块和外壳，石墨坩埚和保温模块间设置的加热器，还包括测温装置，所述石墨坩埚、保温模块和外壳的对应位置均设有孔，用于所述测温装置的插入；所述测温装置包括感温元件和热电偶，所述感温元件安装在所述石墨坩埚的孔中，所述热电偶从所述外壳、保温模块的孔中穿过后，所述热电偶的测量端与感温元件的一端接触，所述感温元件的另一端进入所述沉积室。本发明解决了沉积炉内温度的测量精确性有待提高的问题，并避免温度滞后的现象。CN115290206ACN115290206A权利要求书1/1页1.一种高精度控温的沉积系统，包括从内到外的沉积室、石墨坩埚、保温模块和外壳，石墨坩埚和保温模块间设置的加热器，其特征在于，还包括测温装置，所述石墨坩埚、保温模块和外壳的对应位置均设有孔，用于所述测温装置的插入；所述测温装置包括感温元件和热电偶，所述感温元件安装在所述石墨坩埚的孔中，所述热电偶从所述外壳、保温模块的孔中穿过后，所述热电偶的测量端与感温元件的一端接触，所述感温元件的另一端进入所述沉积室。2.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述沉积系统还包括绝缘装置，所述绝缘装置安装在所述保温模块上的孔中。3.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述沉积系统还包括插拔调整装置，所述插拔调整装置安装在所述外壳上的孔中，使得热电偶进出位置可调。4.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述感温元件采用国产沥青基碳纤维制成的高导热C/C复合材料。5.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述感温元件的一端设有腰形凹槽用于所述热电偶的插入，所述腰形凹槽的高度应考虑石墨坩埚的竖向热膨胀量，所述感温元件的另一端的头部为锥形面。6.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述感温元件通过螺纹孔安装在所述石墨坩埚上。7.根据权利要求3所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述插拔调整装置的内表面采用多层密封结构。8.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述外壳开有进气孔，连接质量流量控制器一MFC1，并用压力表一测得保温模块和外壳之间的压强P1；在沉积室的进气孔处连接压力表三测得沉积室内部压强P3；实时监测P1和P3的值，通过所述质量流量控制器一控制进气孔的流量，使得P1>P2>P3，P2为石墨坩埚和保温模块之间的压强。9.根据权利要求1所述的高精度控温的沉积系统，其特征在于，所述测温装置有多个，并多点打孔，所述沉积室内有多个测温点。10.一种根据权利要求1‑9任一项所述的高精度控温的沉积系统的测温方法，其特征在于，包括：S1、在首次标定时，所述沉积室不通入气体，将辅助标准热电偶进入沉积室内安装在所述测温装置的测温点旁且等高；S2、所述测温装置不安装感温元件插入沉积室，所述辅助标准热电偶的测量值为TX1，所述测温装置的测量值为T1；S3、所述测温装置安装感温元件插入沉积室，所述辅助标准热电偶的测量值为TX2，所述测温装置的测量值为T2，通过所述加热器使得TX1＝TX2，则热偶测量差值T1‑T2即为所需的补偿值；S4、通过加热器调整到不同温度区间，重复上述步骤S2‑S3，得到不同温度区间对应的温度补偿值；S5、拆除所述辅助标准热电偶，所述沉积室通入气体，所述测温装置安装所述感温元件插入沉积室进行测量，将各测温装置的测量值求平均值，再加上步骤S4中得到的对应温度区间的温度补偿值，即能得到沉积室内温度。2CN115290206A说明书1/4页一种高精度控温的沉积系统及其测温方法技术领域[0001]本发明涉及温度检测技术领域，尤其涉及一种高精度控温的沉积系统及其测温方法。背景技术[0002]沉积设备的真空热处理设备在控温阶段的所测温度的准确性对控温及产品质量起关键作用。目前沉积设备均采用热电偶对温度进行测量，一般将热电偶的测量端放置在石墨坩埚和保温模块之间，热电偶测