一种多晶硅还原尾气的余热利用方法及系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115342645A(43)申请公布日2022.11.15(21)申请号202110517842.4F27D9/00(2006.01)(22)申请日2021.05.12F27D19/00(2006.01)(71)申请人新疆硅基新材料创新中心有限公司地址831500新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市新市区乌鲁木齐高新技术产业开发区甘泉堡经济技术开发区（工业园）众欣街2249号研发楼六层申请人新特能源股份有限公司(72)发明人冯留建赵鹏范协诚银波王文张霞飞谢瑞吴建宏(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112专利代理师罗建民邓伯英(51)Int.Cl.F27D17/00(2006.01)权利要求书4页说明书15页附图1页(54)发明名称一种多晶硅还原尾气的余热利用方法及系统(57)摘要本发明公开一种多晶硅还原尾气余热利用方法，包括：在第一尾气换热器中利用第一进料气的冷量对来自第一还原炉的第一还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第一尾气换热器利用后的第一进料气进入第二还原炉；在第二尾气换热器中利用第二进料气的冷量对来自第二还原炉的第二还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第二尾气换热器利用后的第二进料气进入第一还原炉。本发明还公开一种多晶硅还原尾气余热利用系统。本发明能够实现在对还原尾气余热进行回收利用，使还原炉在各个运行阶段都保持在相对较高的沉积速率，使各运行阶段的转化率始终维持在较高水平。CN115342645ACN115342645A权利要求书1/4页1.一种多晶硅还原尾气余热利用方法，包括：将二个或以上的还原炉组合连接成多晶硅还原尾气余热利用系统；在第一尾气换热器(31)中利用第一进料气的冷量对来自第一还原炉(101)的第一还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第一尾气换热器利用后的第一进料气进入第二还原炉(102)；在第二尾气换热器(32)中利用第二进料气的冷量对来自第二还原炉(102)的第二还原尾气进行冷却处理，并使冷量已被第二尾气换热器利用后的第二进料气进入第一还原炉(101)。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原尾气余热利用方法，其特征在于，在所述第一尾气换热器中对第一还原炉输出的第一还原尾气进行冷却处理之前，还包括：在第一李比希冷凝管(501)中利用第一进料气和第一循环水的冷量对来自第一尾气换热器的第一还原尾气再次进行冷却处理，并使冷量已被第一李比希冷凝管利用的第一进料气进入第一尾气换热器，以及使冷量已被第一李比希冷凝管利用的第一循环水进入第一还原炉；和/或，在所述第二尾气换热器中对第二还原炉输出的第二还原尾气进行冷却处理之前，还包括：在第二李比希冷凝管(502)中利用第二进料气和第二循环水的冷量对来自第二尾气换热器的第二还原尾气再次进行冷却处理，并使冷量已被第二李比希冷凝管利用的第二进料气进入第二尾气换热器，以及使冷量已被第二李比希冷凝管利用的第二循环水进入第二还原炉。3.根据权利要求2所述的多晶硅还原尾气余热利用方法，其特征在于，在所述第一尾气换热器中对第一还原炉输出的第一还原尾气进行冷却处理之后，以及在所述第一李比希冷凝管中对来自第一尾气换热器的第一还原尾气再次进行冷却处理之前，还包括：在第二套管(202)中利用来自第一李比希冷凝管的第一循环水的冷量对来自第一尾气换热器的第一还原尾气再次进行冷却处理，并使第二套管冷却后的第一还原尾气进入第一李比希冷凝管，以及使冷量已被第二套管利用后的第一循环水进入第一还原炉；和/或，在所述第二尾气换热器中对第二还原炉输出的第二还原尾气进行冷却处理之后，以及在所述第二李比希冷凝管中对来自第二尾气换热器的第二还原尾气再次进行冷却处理之前，还包括：在第四套管(204)中利用来自第二李比希冷凝管的第二循环水的冷量对来自第二尾气换热器的第二还原尾气再次进行冷却处理，并使第四套管冷却后的第二还原尾气进入第二李比希冷凝管，以及使冷量已被第四套管利用后的第一循环水进入第二还原炉。4.根据权利要求3所述的多晶硅还原尾气余热利用方法，其特征在于，在所述第一尾气换热器中对第一还原炉输出的第一还原尾气进行冷却处理之前，还包括：在第一套管(201)中利用来自第二套管的第一循环水的冷量对第一还原炉输出的第一还原尾气先进行冷却处理，并使第一套管冷却后的第一还原尾气进入第一尾气换热器、以及使冷量已被第一套管利用的第一循环水进入第一还原炉；和/或，在所述第二尾气换热器中对第二还原炉输出的第二还原尾气进行冷却处理之前，还包括：2CN115342645A权利要求书2/4页在第三套管(203)中利用来自第四套管的第二循环水的冷量对第二还原炉输出的第二还原尾气先进行冷却处理，并使第三套管冷却后的第二还原尾气进入第二尾气换热器、以及使冷量已被第三套管利用的第