晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115354389A(43)申请公布日2022.11.18(21)申请号202211036770.2(22)申请日2022.08.29(71)申请人中能兴盛（香河）机电设备有限公司地址065402河北省廊坊市香河县经济开发区运河大道东侧二号路北侧(72)发明人李端科张奇李浩毅李再兴(74)专利代理机构天津市鼎拓知识产权代理有限公司12233专利代理师刘雪娜(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书13页附图8页(54)发明名称晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法(57)摘要本申请提供一种晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置及其控制方法，其中预对中装置包括：具有承载面的基座本体；承载面上可转动地设有坩埚驱动轴，第一轴线的方向为第一方向；坩埚驱动轴的顶端同轴设有透光结构；籽晶直拉杆，籽晶直拉杆沿所述第一方向具有第一端和第二端，靠近第一端侧设有旋转平台，籽晶直拉杆可转动地设于旋转平台，旋转平台的一端通过驱动机构与支架本体的顶端连接；第二端为半球形；激光组件设于第二端的最底端，用于向透光结构发射激光，激光在透光结构上形成激光点；摄像组件设于坩埚驱动轴内靠近透光结构端，用于获取具有激光点的透光结构的图像信息；当判断激光点不在透光结构的中心时，驱动籽晶直拉杆移动。CN115354389ACN115354389A权利要求书1/2页1.一种晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置，其特征在于，包括：基座本体（1），所述基座本体（1）具有承载面（11）；坩埚驱动轴（2），所述坩埚驱动轴（2）沿第一轴线可转动地设于所述承载面（11），所述第一轴线的方向为第一方向；所述坩埚驱动轴（2）的顶端同轴设有透光结构（21）；支架本体（3），所述支架本体（3）设于所述承载面（11）上，所述支架本体（3）的延伸方向平行于所述第一方向；籽晶直拉杆（4），所述籽晶直拉杆（4）具有第一端（41）和第二端（42），靠近所述第一端（41）侧设有旋转平台（7），所述籽晶直拉杆（4）可转动地设于所述旋转平台（7），所述旋转平台（7）的一端通过驱动机构（6）与所述支架本体（3）的顶端连接；所述第二端（42）为半球形；激光组件（5），所述激光组件（5）设于所述第二端（42）的最底端，所述激光组件（5）用于向所述透光结构（21）发射激光，激光束的方向平行于所述第一方向，激光在所述透光结构（21）上形成激光点（51）；摄像组件（22），所述摄像组件（22）设于所述坩埚驱动轴（2）内靠近所述透光结构（21）端，所述摄像组件（22）用于获取具有激光点（51）的所述透光结构（21）的图像信息；控制组件，所述控制组件与所述摄像组件连接，用于判断所述激光点（51）是否与所述透光结构（21）的中心点（211）重合；当判断所述激光点（51）和所述中心点（211）不重合时，所述驱动机构（6）驱动所述籽晶直拉杆（4）沿第二方向或第三方向移动，所述第二方向和所述第三方向垂直，且均与所述第一方向垂直。2.根据权利要求1所述的晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置，其特征在于，还包括：翻转组件（23），所述翻转组件（23）设于所述坩埚驱动轴（2）靠近所述透光结构（21）端，所述翻转组件（23）具有第一面和第二面，所述第一面用于安装所述摄像组件（22），所述第二面用于安装测距组件（24）；第五驱动组件（25），所述第五驱动组件（25）和所述翻转组件（23）连接，用于驱动所述翻转组件（23）翻转至所述摄像组件（22）或所述测距组件（24）位于所述第一轴线上，且朝向所述透光结构（21）。3.根据权利要求2所述的晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置，其特征在于，所述驱动机构（6）包括：第一驱动组件（61），所述第一驱动组件（61）包括设于所述支架本体（3）顶面的第一安装板，所述第一安装板的延伸方向为所述第二方向，所述安装板上沿所述第二方向设置有两个所述第一支架，两个所述第一支架之间可转动地设置有丝杆副，所述丝杆副上可滑动地设有第一滑块；第二驱动组件（62），所述第二驱动组件（62）一端与所述第一滑块连接，另一端与所述旋转平台（7）连接，所述第二驱动组件（62）可沿所述第三方向伸缩。4.根据权利要求1所述的晶体生长炉坩埚驱动轴预对中装置，其特征在于：所述承载面（11）上设有圆形的第一凹槽，所述第一凹槽内壁通过轴承连接有转动板，坩埚（10）的底端同轴安装于所述转动板上；所述坩埚驱动轴（2）穿过所述承载面（11）和所述转动板与所述坩埚（10）同轴设置，所述坩埚驱动轴（2）与所述转动板固定连接，与所述承载面（11）可转动连接。2CN115354389A权利要求书2/2页5.根据权利要求4所述的晶体生长炉坩埚驱动