一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111074334A(43)申请公布日2020.04.28(21)申请号201911347149.6(22)申请日2019.12.24(71)申请人西安交通大学地址710049陕西省西安市咸宁西路28号(72)发明人郭海生宋克鑫王富贵徐卓李飞栾鹏庄永勇(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任公司61200代理人马贵香(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法(57)摘要本发明公开了一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法，包括单独升降装置和联动升降装置，单独升降装置和联动升降装置上分别连接有单独支撑板和联动支撑架，且单独支撑板位于联动支撑架下侧，联动支撑架上均匀设置有若干工位孔，工位孔中设置有坩埚引下装置，联动支撑架上还设置有能够将坩埚引下装置支撑在工位孔中的工位支撑架。本发明能够有效解决目前多坩埚晶体炉工位无法既能联动控制又能独立控制的问题，避免因单一问题工位停炉而影响单晶炉内其它正常工位晶体生长的情况，从而提高整体晶体生长效率。CN111074334ACN111074334A权利要求书1/1页1.一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，包括单独升降装置(1)和联动升降装置(8)，单独升降装置(1)和联动升降装置(8)上分别连接有单独支撑板(3)和联动支撑架(7)，且单独支撑板(3)位于联动支撑架(7)下侧，联动支撑架(7)上均匀设置有若干工位孔，工位孔能够供坩埚引下装置自由穿过，联动支撑架(7)上还设置有能够将坩埚引下装置支撑在工位孔中的工位支撑架(6)。2.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，单独升降装置(1)和联动升降装置(8)均通过伺服电机驱动。3.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，坩埚引下装置包括引下管(4)以及连接在引下管(4)底部的引下管座(5)，供晶体生长用的坩埚设置在引下管(4)中。4.根据权利要求3所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，所述工位支撑架(6)为U型，且工位支撑架(6)设置在引下管座(5)肩部外沿和联动支撑架(7)之间。5.根据权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，单独升降装置(1)与单独支撑板(3)之间设置有第一支撑杆(2)。6.根据权利要求5所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，联动升降装置(8)与联动支撑架(7)之间设置有第二支撑杆(9)。7.一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制方法，采用权利要求1所述的一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置，其特征在于，当所有工位晶体均处于正常生长时，工位支撑架(6)处于插入状态，各工位上的坩埚引下装置及其内部的坩埚与联动支撑架(7)连成一体，各工位的升降操作由联动升降装置(8)同步实现；当某一工位上的晶体生长出现问题需单独停炉处理时，调整单独升降装置(1)的位置，使得单独支撑板(3)上表面与坩埚引下装置下表面之间留有1～2mm的距离，调整单独升降装置(1)的速度与联动升降装置(8)的速度相同，实现同步运动；然后，将需做停炉处理的工位处的工位支撑架(6)抽离，将坩埚引下装置平稳落在单独支撑板(3)上，完成该工位与联动支撑架(7)的脱离。2CN111074334A说明书1/3页一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法技术领域[0001]本发明涉及人工晶体生长设备领域，具体涉及一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法。背景技术[0002]为了提高晶体生长效率，人工晶体生长领域多采用多工位坩埚下降晶体生长炉生长晶体。这些多工位晶体生长炉均具有统一下降平台，在晶体生长时各工位坩埚的下降和上升是同步进行的。然而在晶体生长过程中，经常会出现某一或某几个工位晶体生长发生漏埚等问题，为了避免影响其它工位晶体的正常生长以及大量漏埚损坏晶体生长炉，应当对发生问题的工位采取单独停炉的措施。然而，目前的多工位晶体生长炉均无法完成晶体生长工位联动控制和独立控制的转换。因此，这种多工位晶体生长炉的某一工位出现漏埚的情况时，要么需等所有工位生长结束后才能处理问题工位，易造成损伤晶体生长炉的情况，要么需将全部工位同时停炉，造成正常工位的晶体生长提前结束的情况。[0003]为了实现多工位晶体生长炉各工位之间即能联动控制又能独立控制的目的，需要对现有的多工位晶体坩埚下降生长炉的工位控制装置进行改进处理。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种多坩埚晶体生长炉工位联动控制装置及方法，以克服现有技术存在的缺陷，本发明能够有效解决目前多坩埚晶体炉工位无法既能联动控