一种晶体生长炉复投送料装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115369477A(43)申请公布日2022.11.22(21)申请号202211315528.9C30B29/06(2006.01)(22)申请日2022.10.26(66)本国优先权数据202211170745.32022.09.26CN(71)申请人浙江求是半导体设备有限公司地址311100浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室(72)发明人曹建伟朱亮傅林坚张俊叶钢飞倪军夫李玉刚(74)专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙)33329专利代理师赵杰香(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B15/20(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图5页(54)发明名称一种晶体生长炉复投送料装置(57)摘要本发明公开了一种晶体生长炉复投送料装置，送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将硅料输送至晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动送料机构；晶体生长炉包括坩埚，坩埚用于接收送料机构输送的硅料，硅料能够在坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时送料机构停止投料：第一料仓的重量小于等于第一预设重量、坩埚的重量大于等于第二预设重量、坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；送料机构包括用于输送硅料的螺旋轴，当送料机构停止投料后，螺旋轴反向旋转，以使硅料向远离晶体生长炉的方向输送。通过上述设置，可以防止送料机构发生黏料。CN115369477ACN115369477A权利要求书1/2页1.一种晶体生长炉复投送料装置，所述送料装置包括：第一料仓，用于盛放硅料；送料机构，用于将所述硅料输送至所述晶体生长炉中；驱动机构，用于驱动所述送料机构；所述晶体生长炉包括坩埚，所述坩埚用于接收所述送料机构输送的所述硅料，所述硅料能够在所述坩埚中形成硅液；其特征在于，当满足以下条件中至少之一时所述送料机构停止投料：所述第一料仓的重量小于等于第一预设重量、所述坩埚的重量大于等于第二预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第一预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第一预设时间；所述送料机构包括用于输送所述硅料的螺旋轴，当所述送料机构停止投料后，所述螺旋轴反向旋转，以使所述硅料向远离所述晶体生长炉的方向输送。2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述螺旋轴反向旋转的时间设置为第二预设时间。3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述送料机构远离所述晶体生长炉的一端设置有传感模块，当所述螺旋轴反向旋转时，若所述硅料处于预设位置，所述传感模块控制所述螺旋轴停止反向旋转。4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述传感模块为压力传感器和/或距离传感器。5.根据权利要求1或2或3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，当满足所述第一料仓的重量小于等于第三预设重量、所述坩埚的重量大于等于第四预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第二预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第三预设时间中至少之一时，所述螺旋轴的转速逐渐下降；当所述送料机构停止投料后，所述螺旋轴反向转动。6.根据权利要求1或2或3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，当满足所述第一料仓的重量小于等于第五预设重量、所述坩埚的重量大于等于第六预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第三预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第四预设时间中至少之一时，所述第一料仓停止供料至所述送料机构。7.根据权利要求1或2或3所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述送料装置还包括第二料仓，当满足所述第一料仓的重量小于等于第七预设重量、所述坩埚的重量大于等于第八预设重量、所述坩埚内硅液的液面高度大于等于第四预设高度、所述送料装置的送料时间大于等于第五预设时间中至少之一时，所述送料机构处于尾段投料阶段；此时，所述第二料仓输送所述硅料至所述送料机构，其中，所述第二料仓的所述硅料的粒径大于等于第一粒径。8.根据权利要求7所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述送料机构包括槽体，所述螺旋轴至少部分设置在所述槽体中；所述螺旋轴上设置有叶片，所述叶片的直径沿所述硅料的运输方向依次减小，所述叶片和所述槽体的内壁之间形成有第一输送通道；所述第一输送通道用于输送粒径小于等于第二粒径的所述硅料，所述螺旋轴用于输送粒径小于等于第三粒径的所述硅料，其中，所述第二粒径小于所述第三粒径。2CN115369477A权利要求书2/2页9.根据权利要求8所述的一种晶体生长炉复投送料装置，其特征在于，所述槽体上还设置有第二输送通道，所述第二输送通道至少部分沿所述送料装置的