一种基于碳化香蒲的柔性压力传感器及其制作方法.pdf
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一种基于碳化香蒲的柔性压力传感器及其制作方法.pdf
本发明提供了一种基于碳化香蒲的柔性压力传感器的制作方法,包括下列步骤:S1、将原始香蒲干燥,并在管式炉中碳化,得到碳化香蒲纤维并称重;S2、将碳化香蒲纤维浸泡于一定量的PDMS溶液中,之后进行真空干燥;S3、重复S2步骤4次后恒温干燥,得到PDMS/碳化香蒲压力传感器,香蒲独特的三维网状结构,经过碳化后可以转化为高导电性的碳材料,同时保持其原有结构,制作的压力传感器传感性能稳定,并且制作方法简单,成本低;本发明还提供通过上述方法制备的基于碳化香蒲的柔性压力传感器,对50~500g的压力载荷和5~15°角的
一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器及其制作方法.pdf
本发明公开了一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器制作方法,a)选用4H‑SiC晶圆片作为碳化硅敏感结构的制作材料;b)制作带有刻蚀腔的晶片;c)敏感膜片的制作;d)激光划片:使用激光工艺对敏感膜片和带有刻蚀腔的基底进行单元切割;e)热压键合:使用单向热压炉对预键合好的碳化硅敏感结构进行热压键合;f)传感器封装:将热压键合好的碳化硅敏感机构使用碳化硅陶瓷封装夹具进行封装;一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器,包括碳化硅敏感结构、碳化硅陶瓷封装夹具、石英套管和光纤。本发明将敏感膜片和带有蚀刻腔的晶片均采用
柔性纺织压力传感器的制作方法和柔性纺织压力传感器.pdf
本申请提供了一种柔性纺织压力传感器的制作方法和柔性纺织压力传感器。该方法包括:提供基底,基底包括依次层叠的绝缘布和离型材料层;将导电布贴合在离型材料层的远离绝缘布的表面上;去除部分导电布,剩余的导电布形成多个间隔的导电电极,导电电极和基底形成至少两个贴合结构;在一个贴合结构上形成压敏材料层,并将另一个贴合结构贴合在压敏材料层的表面上。该方法通过将导电布贴合在离型材料层的表面上,去除部分导电布即可形成导电电极,导电电极和离型材料层形成的贴合结构能够很方便地形成不同的结构,且形成的结构柔性好且不容易断裂,进而
一种基于金属气凝胶的柔性压力传感器及其制备方法.pdf
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一种柔性基材及其制作方法.pdf
本发明实施例提供一种柔性基材及其制作方法,涉及柔性电子器件制作领域,能够解决现有柔性基材制作工艺复杂、制作成本较高且产品良率较低的问题。所述制作方法包括:在支撑物上涂布聚酰胺酸溶液,并采用第一烘烤工艺烘烤聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜;在聚酰胺酸薄膜上涂布氧化物溶胶,并采用第二烘烤工艺烘烤氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜;采用第三烘烤工艺烘烤聚酰胺酸薄膜和氧化物凝胶薄膜,以形成聚酰亚胺/氧化物膜层,并将一组或叠层设置的多组聚酰亚胺/氧化物膜层作为柔性基材。本发明用于制作柔性基材。