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一种高温气悬浮旋转机构.pdf
2023-06-15
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本发明公开了一种高温气悬浮旋转机构，涉及碳化硅外延片均匀沉积领域，解决了现有通过气氛流动使托盘旋转进行气相沉积反应时，其稳定性差的问题，包括安装于水平外延炉内部的下型腔盖和上型腔盖，下型腔盖和上型腔盖相匹配，本发明通过弧面盘和弧爪引流盘以及气氛增压输入管输气的作用，可使弧面盘带着托盘向上浮动，而通过拽引件和同步件可保证弧面盘向上浮动的平稳性，在高温使限位件失去对转轴的限制，其转轴在弧形弹簧的作用下，可迅速转动，为弧面盘和托盘的转动提供初速度，同时通过弧爪引流盘对气氛流动的引导，可实现托盘进行稳定的悬浮旋转
2023-06-15
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