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用于沉积膜的化学气相沉积炉.pdf
2023-06-15
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猫巷****志敏
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用于沉积膜的化学气相沉积炉.pdf
公开了一种用于沉积氮化硅膜的化学气相沉积炉。该炉包括沿基本竖直方向伸长的处理室和用于在处理室中支撑多个晶片的晶片舟。处理气体注射器设置在处理室内，其基本在晶片舟高度上沿基本竖直方向延伸，并且包括连接到硅前体源和氮前体源的进给端和多个竖直间隔的气体注射孔，以从进给端向处理室提供气体。该炉可以包括吹扫气体注射系统，以在处理室的下端附近将吹扫气体提供到处理室中。
2023-06-15
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化学气相沉积炉.pdf
本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效
2023-06-20
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化学气相沉积炉.pdf
本发明涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成，在生产过程中，操作工人要随时监视系统工作情况，发现隐患要立即解决，工人劳动强度相当大，用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、炉盖提升机构、三级过滤系统、真空系统、加热器，加热器包括上区加热体、中区加热体、下区加热体；炉本体采用立式、内热式结构，包括炉盖、上炉体、下炉体、炉底。本发明采用整体式隔热屏，便于拆卸、清洗；上炉体加热体固定在上炉体内，便于装卸料及炉内清洁。
2023-06-20
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化学气相沉积炉.pdf
本发明涉及一种化学气相沉积炉，其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管；所述坩埚盖上开设了连通坩埚和沉积室的若干第一通孔，所述收料盒上开设有连通沉积室和收料盒的一第二通孔，所述化学气相沉积炉还包括给坩埚加热的一第一加热器，所述收料盒内置一集尘室和盖设在集尘室上方的一集尘室盖板，所述集尘室盖板上开设连通集尘室和收料盒的一第三通孔。本发明化学气相沉积炉，结构合理，多级收集硫化锌产品，所制得的硫化锌不产生雾斑、雾层、花纹等缺陷，且硫化锌产品的整体厚度偏差小，
2023-06-18
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化学气相沉积炉.pdf
本申请涉及化学气相沉积炉制造技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，包括炉体、位于所述炉体内的石墨加热体、环绕于所述石墨加热体侧部的保温周套和位于所述石墨加热体底部下方的保温底托，所述保温周套和所述保温底托均位于所述保温炉体内。如此设置，通过在石墨加热体的四周和下方设置保温周套和保温底托，既能起到承托石墨加热体的作用，又能防止石墨加热体产出的热能向远离高温腔的方向传导，增加了热场的保温效果，降低热量的损失，进一步提高了能量的利用率和设备的生产产能，降低了生产成本。
2023-06-15
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