一种多晶硅定向凝固方法.pdf
是秋****写意
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相关资料
一种多晶硅定向凝固方法.pdf
本发明提供了一种多晶硅定向凝固方法,它解决了多晶硅内部晶胞错位等问题,其包括如下步骤:S1:单晶硅片酸洗除杂后置入坩埚,之后放入熔化炉内加热熔化并保持静置;S2:坩埚底部快速降温使得底部硅液快速凝结;S3:坩埚下拉使得硅液匀速结晶;S4:吹风装置启动,硅锭温度急速下降;S4:熔化炉升温并保持温度恒定,之后温度缓慢下降;S5:取出硅锭待其自然冷却。本发明具有结晶质量高、有效消除层积缺陷等优点。
一种太阳能多晶硅的定向凝固炉及定向凝固方法.pdf
本发明提供一种太阳能多晶硅的定向凝固炉,包括炉体,所述炉体内设置有隔热笼,所述隔热笼底部开口,开口处设置有底部密封板,所述底部密封板相对隔热笼移动密封相向隔热笼移动开口;所述隔热笼内设置有加热电极,所述加热电极内部设置有生长坩埚,所述生长坩埚底部设置有冷却块。在加热和熔化过程中,绝热体是封闭的。长晶时将四周绝热体提升,在坩埚下面开出一个传热的口子,使硅液从底部开始冷却,实现由下往上的定向凝固。该生长方法可生长大的多晶硅锭,因而产出量高。另外该工艺控制相对单晶生长简单,生产成本低。
一种多晶硅定向凝固的工艺控制方法.pdf
本发明属于定向凝固领域,特别涉及一种多晶硅定向凝固的工艺控制方法,在硅料熔化后,通过单独调节上部加热装置、中部加热装置和下部加热装置的温度,进行硅体长晶和退火冷却,最后取锭即可。本发明可以最大限度的利用炉体空间,节约设备投资成本。同时,通过控制下部加热装置和中部加热装置的温度和水冷的方式来实现所述坩埚底部温度的降低,使得冷却速度更快,因此降低了铸锭单位质量的能耗。
一种生产定向凝固多晶硅锭的方法.pdf
一种定向凝固多晶硅锭的方法,包括加热熔化、凝固长晶、冷却,其特征是在冷却阶段保持多晶硅锭底部散热通道继续开启,使多晶硅锭底部温度循之前趋势继续缓慢下降;与此同时逐渐减小炉子加热功率,使多晶硅锭温度持续下降,直至多晶硅锭温度降至300℃以下出炉。本发明大幅度降低定向凝固多晶硅锭位错密度,并且缩短定向凝固多晶硅锭生产周期,降低生产能耗和氩气消耗,减少坩埚对硅锭的扩散污染。
一种多晶硅离心定向凝固提纯方法与装置.pdf
一种多晶硅离心定向凝固提纯方法与装置,采用旋转离心定向凝固原理,即通过一中间腔体通有循环冷媒的冷却体以一定转速插入熔融硅液中,由于冷却体与熔融硅液存在较大温度梯度,硅液会在冷却体上凝固一层纯度高的结晶体,间隔一段时间后将冷却体与结晶体一同上升并借助外力分离,达到快速高效提纯的目的。本发明重点以2‑4N级工业硅为原料制备纯度为6‑7N级多晶硅的方法,提供一种冶金法太阳能级多晶硅的定向凝固提纯装置与定向凝固方法,该装置具有单炉产能大、除杂效果好、连续化生产,工序时间短、运行能耗低的特点,适合于规模化生产。