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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115637493A(43)申请公布日2023.01.24(21)申请号202211429095.X(22)申请日2022.11.15(71)申请人扬州嘉辉新能源有限公司地址225819江苏省扬州市宝应县氾水镇通湖路99-8号(72)发明人吴彬辉(74)专利代理机构浙江永鼎律师事务所33233专利代理师陆永强(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B33/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种多晶硅定向凝固方法(57)摘要本发明提供了一种多晶硅定向凝固方法,它解决了多晶硅内部晶胞错位等问题,其包括如下步骤:S1:单晶硅片酸洗除杂后置入坩埚,之后放入熔化炉内加热熔化并保持静置;S2:坩埚底部快速降温使得底部硅液快速凝结;S3:坩埚下拉使得硅液匀速结晶;S4:吹风装置启动,硅锭温度急速下降;S4:熔化炉升温并保持温度恒定,之后温度缓慢下降;S5:取出硅锭待其自然冷却。本发明具有结晶质量高、有效消除层积缺陷等优点。CN115637493ACN115637493A权利要求书1/2页1.一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:单晶硅片酸洗除杂后置入坩埚(1),之后放入熔化炉(2)内加热熔化并保持静置;S2:坩埚(1)底部快速降温使得底部硅液快速凝结;S3:坩埚(1)下拉使得硅液匀速结晶;S4:吹风装置(3)启动,硅锭温度急速下降;S4:熔化炉(2)升温并保持温度恒定,之后温度缓慢下降;S5:取出硅锭待其自然冷却。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,所述的步骤S1中熔化路温度加热至1550℃;所述的步骤S2中坩埚(1)底部温度下降至1380℃,直到坩埚(1)底部凝结3cm;所述的步骤S3中硅液结晶速率保持0.8‑1cm/m;所述的步骤S4中熔化炉(2)温度回升至1100℃。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,所述的熔化炉(2)包括加热机构(4)以及带动坩埚(1)上下升降的抬升机构(5),所述的抬升机构(5)上端安装有与坩埚(1)底部相对的冷却机构(6),所述的熔化炉(2)内壁设置有与坩埚(1)侧面相对的隔热机构(7)。4.根据权利要求3所述的一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,所述的加热机构(4)包括设置在熔化炉(2)顶部的夹持机构,所述的夹持机构夹紧固定有与坩埚(1)上端相对的电极棒(41),所述的坩埚(1)下端设置有搅动机构;所述的夹持机构包括设置在熔化炉(2)顶部的夹持筒体(42),所述的夹持筒体(42)内部设置有与熔化炉(2)内部相对的夹持腔(43),所述的夹持筒体(42)内安装有电极夹爪(44),所述的电极夹爪(44)通过升降丝杠(45)与夹持筒体(42)传动连接,所述的电极夹爪(44)与夹持筒体(42)之间设置有升降限位机构;所述的升降限位机构包括设置在夹持筒体(42)内侧的限位槽(46),所述的电极夹爪(44)具有与限位槽(46)滑动连接的限位条(47);所述的搅动机构包括安装在坩埚(1)底部且与其贴合的转动盘(48),所述的转动盘(48)转动安装在固定盘(49)上,所述的转动盘(48)与固定盘(49)之间设置有通电后带动转动盘(48)旋转的电感回路。5.根据权利要求3所述的一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,所述的抬升机构(5)包括将熔化炉(2)下端封闭的抬升基座(51),所述的抬升基座(51)下端与地面之间设置有升降机构,所述的抬升基座(51)与熔化炉(2)之间设置有密封机构;所述的升降机构包括平行安装在地面上的升降导轨(52),所述的升降导轨(52)上滑动安装有升降滑块(53),所述的升降滑块(53)与抬升基座(51)之间转动安装有抬升杆(54),所述的升降滑块(53)与升降导轨(52)之间设置有抬升丝杠(55),所述的抬升基座(51)以及熔化炉(2)分别通过限位滑套(56)与竖直固定在地面上的限位立柱(57)滑动连接;所述的密封机构包括沿抬升基座(51)周向环绕的密封边(58),所述的密封边(58)内侧设置有呈弧形的密封面(59),所述的熔化炉(2)下端设置有密封条(21),所述的密封条(21)具有呈弧形且与密封边(58)贴合压紧的密封面(59),所述的密封边(58)与密封条(21)之间开有一一对应的密封槽(591),所述的密封槽(591)内填充有波浪式的金属垫片(592)。6.根据权利要求3所述的一种多晶硅定向凝固方法,其特征在于,所述的冷却机构(6)包括网格结构的冷却架体(61),所述的冷却架体(61)上端贴合固定有冷却铜板(62),所述的冷却架体(61)内安装有盘绕布置且与冷却铜板(62)贴