单晶生长用的坩埚支柱.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115652413A(43)申请公布日2023.01.31(21)申请号202211339643.XC30B29/20(2006.01)(22)申请日2022.10.26(71)申请人新疆蓝晶新材料科技有限公司地址843004新疆维吾尔自治区阿克苏地区阿克苏市阿克苏经济技术开发区经开大道东侧、开元路南园申请人东旭科技集团有限公司东旭集团有限公司(72)发明人徐峰宋亚滨翟虎林宏达孙金梅秦俊(74)专利代理机构北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447专利代理师张兵(51)Int.Cl.C30B17/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称单晶生长用的坩埚支柱(57)摘要本公开涉及一种单晶生长用的坩埚支柱，包括：支柱本体，内部中心设有沿其轴向延伸且顶部开口的中空腔；和填充物，中心设有供拆卸工具穿过的通孔，所述填充物设有多种，多种所述填充物可选择地放置在所述中空腔内以调整所述坩埚支柱的导热率，所述填充物构造为块状，所述填充物的外径与所述中空腔的内径对应以叠加放置在所述中空腔内。本公开设有支柱本体和多种填充物，支柱本体内设有中空腔，多种所述填充物可选择地放置在所述中空腔内以调整所述坩埚支柱的导热率，通过调整坩埚支柱的导热率可以对单晶生长时的温度梯度进行调整，也就是调整长晶炉内坩埚的温度梯度，避免因长晶炉内保温材料变形导致的晶体质量问题，提升晶体产能和良率。CN115652413ACN115652413A权利要求书1/1页1.一种单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，包括：支柱本体，内部中心设有沿其轴向延伸且顶部开口的中空腔；和填充物，中心设有供拆卸工具穿过的通孔，所述填充物设有多种，多种所述填充物可选择地放置在所述中空腔内以调整所述坩埚支柱的导热率，所述填充物构造为块状，所述填充物的外径与所述中空腔的内径对应以叠加放置在所述中空腔内。2.根据权利要求1所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述填充物包括导热填充物和保温填充物，所述中空腔内可选择地放置二者中的一者或两者。3.根据权利要求2所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述导热填充物及所述支柱本体均由导热材料制成，所述导热材料为钨、钼、石墨、铱或铼。4.根据权利要求2所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述保温填充物由保温材料制成，所述保温材料为氧化铝、氧化锆或莫来石。5.根据权利要求1所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述坩埚支柱还包括底座，所述支柱本体设置在所述底座上。6.根据权利要求1所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述支柱本体构造为圆柱状，所述中空腔构造为圆柱状。7.根据权利要求6所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述支柱本体的直径为80mm～110mm，所述中空腔的内径为40mm～55mm，所述中空腔的内径尺寸为负公差，该负公差为0mm～‑1mm。8.根据权利要求1所述的单晶生长用的坩埚支柱，其特征在于，所述坩埚支柱为泡生法制蓝宝石用的坩埚支柱。2CN115652413A说明书1/4页单晶生长用的坩埚支柱技术领域[0001]本公开涉及晶体材料制备技术领域，具体地，涉及一种单晶生长用的坩埚支柱。背景技术[0002]泡生法制蓝宝石一般采用钨坩埚，其坩埚底部与钨托盘接触，钨托盘由支柱支撑。此坩埚支柱的主要作用是支撑起坩埚和锅内原料的重量，次要作用是具有导热功能，可以将坩埚底部的热量通过热传导和热辐射至炉底，炉底通有冷却循环水，通过循环水带走热量。泡生法长晶炉在设计和热场模拟时，均有考虑到支柱的传热效应，由此在坩埚底部产生中间温度低，侧面温度高的径向温度梯度。[0003]随着实际生产中长晶炉的使用频次增加，其保温材料会缓慢的发生形变，导致其实际温度梯度偏移设计值。梯度变化后，会影响长晶工艺，导致结晶速率与理论设计值偏差，特别是在晶体生长收尾阶段，会出现团状气泡，严重影响产品质量。发明内容[0004]本公开的目的是提供一种单晶生长用的坩埚支柱，该单晶生长用的坩埚支柱可以调整导热率以调整单晶生长时的温度梯度。[0005]为了实现上述目的，本公开提供一种单晶生长用的坩埚支柱，包括：支柱本体，内部中心设有沿其轴向延伸且顶部开口的中空腔；和填充物，中心设有供拆卸工具穿过的通孔，所述填充物设有多种，多种所述填充物可选择地放置在所述中空腔内以调整所述坩埚支柱的导热率，所述填充物构造为块状，所述填充物的外径与所述中空腔的内径对应以叠加放置在所述中空腔内。[0006]可选地，所述填充物包括导热填充物和保温填充物，所述中空腔内可选择地放置二者中的一者或两者。[0007]可选地，所述导热填充物及所述支柱本体均由导热材料制成，所述导热材料为钨、钼、石墨、铱或铼。[0008]可