一种吸料装置和吸料方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115726025A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202111016084.4(22)申请日2021.08.31(71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址710100陕西省西安市长安区航天中路388号(72)发明人杜超邓浩韩伟李侨董升(74)专利代理机构北京知迪知识产权代理有限公司11628专利代理师王胜利(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图5页(54)发明名称一种吸料装置和吸料方法(57)摘要本发明公开一种吸料装置和吸料方法，涉及单晶硅棒生产领域。该吸料装置能够用于吸取不同单晶炉内的溶液，具有适应性强，操作简便的有益效果。吸料装置应用于单晶炉，单晶炉内放置有第一盛料组件，吸料装置用于吸取第一盛料组件中的熔液；吸料装置包括吸管、第二盛料组件、升降组件和气压调节组件；第二盛料组件位于单晶炉外，吸管连接于单晶炉和第二盛料组件之间；吸管具有相对的吸取端和排出端，吸取端伸入第一盛料组件中，排出端与第二盛料组件相对；升降组件与吸管连接，升降组件带动吸管下降或上升，吸取端浸入熔液，或远离第一盛料组件；气压调节组件与单晶炉和/或第二盛料组件连通。CN115726025ACN115726025A权利要求书1/2页1.一种吸料装置，其特征在于，所述吸料装置应用于单晶炉，所述单晶炉内放置有第一盛料组件，所述吸料装置用于吸取所述第一盛料组件中的熔液；所述吸料装置包括吸管、第二盛料组件、升降组件和气压调节组件；所述第二盛料组件位于所述单晶炉外，所述吸管连接于所述单晶炉与所述第二盛料组件之间；所述吸管具有相对的吸取端和排出端，所述吸取端伸入所述第一盛料组件中，所述排出端与所述第二盛料组件相对；所述升降组件与所述吸管连接，所述升降组件带动所述吸管下降或上升，所述吸取端浸入所述熔液，或远离所述第一盛料组件；所述气压调节组件与所述单晶炉和/或所述第二盛料组件连通。2.根据权利要求1所述的吸料装置，其特征在于，所述气压调节组件包括第一气压调节件和第二气压调节件，所述第一气压调节件与所述单晶炉连通，所述第二气压调节件与所述第二盛料组件连通。3.根据权利要求1所述的吸料装置，其特征在于，所述吸料装置还包括第一密封件和第二密封件，其中，所述第一密封件为可伸缩式第一密封件，所述可伸缩式第一密封件的一端与所述吸管密封连接，另一端与所述单晶炉密封连接；和/或，所述第二密封件为可伸缩式第二密封件，所述可伸缩式第二密封件的一端与所述吸管密封连接，另一端与所述第二盛料组件密封连接。4.根据权利要求1所述的吸料装置，其特征在于，所述吸管包括依次连接的首段、中段和末段，所述吸取端位于所述首段远离所述中段处，所述排出端位于所述末段远离所述中段处。5.根据权利要求1所述的吸料装置，其特征在于，所述升降组件包括与所述吸管连接的连接件，所述连接件具有可打开的且允许所述吸管穿过的容纳孔所述吸料装置还包括用于加热所述吸管的第一加热件，所述第一加热件位于所述容纳孔中，并包围所述吸管。6.根据权利要求1‑5中任一项所述的吸料装置，其特征在于，所述第二盛料组件包括密闭箱体和坩埚，所述吸管的排出端伸入所述密闭箱体；或，所述第二盛料组件包括坩埚，所述坩埚具有可拆卸的密封盖，所述吸管的排出端穿过所述密封盖。7.根据权利要求6所述的吸料装置，其特征在于，所述密闭箱体具有保温层。8.根据权利要求6述的吸料装置，其特征在于，所述第二盛料组件还包括第二加热件，所述第二加热件围绕在所述坩埚外，并且，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚开口的方向，所述第二加热件的加热功率逐渐增大；所述坩埚各处的温度均小于所述熔液的熔点温度。9.根据权利要求8所述的吸料装置，其特征在于，所述第二加热件为一体式条形电阻加热件，且呈筒状环绕在所述坩埚周围，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚开口的方向，环绕在所述坩埚周围的所述条形电阻加热件的圈数逐渐增多；或，所述第二加热件为电阻加热件或感应加热件，所述第二加热件为分体式，包括沿所述坩埚底部朝向所述坩埚开口的方向依次排列的多个加热元件，多个所述加热元件的加热功率逐渐增大。10.根据权利要求6所述的吸料装置，其特征在于，所述第二盛料组件还包括冷却件，所2CN115726025A权利要求书2/2页述冷却件位于所述坩埚下方。11.根据权利要求6所述的吸料装置，其特征在于，所述吸料装置还包括埚帮，所述埚帮承载所述坩埚。12.根据权利要求1‑5中任一项所述的吸料装置，其特征在于，所述吸料装置还包括称重器件，所述第二盛料组件放置在所述称重器件上。13.根据权利要求1‑5中任一项所述的吸料装置，其特征在于，所述吸管的