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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115732343A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202211035580.9(74)专利代理机构华进联合专利商标代理有限(22)申请日2022.08.26公司44224专利代理师黄隶凡(30)优先权数据17/463,0122021.08.31US(51)Int.Cl.17/686,5142022.03.04USH01L21/60(2006.01)H01L21/67(2006.01)(71)申请人易尔德工程系统股份有限公司B23K1/008(2006.01)地址美国加利福尼亚州B23K3/04(2006.01)(72)发明人克里斯托弗·莱恩B23K3/08(2006.01)伊莱·弗龙斯基泰勒·阮罗纳德·R·史蒂文斯加布里埃尔·奥蒙德杰德·徐M·齐奥尔·卡里姆荆雷肯尼斯·索特权利要求书2页说明书8页附图11页(54)发明名称加工炉和加工方法(57)摘要一种回流焊炉包括限定外壳的加工室。该外壳包括主轴,其被构造成支撑衬底并使衬底围绕加工室的中心轴线旋转。主轴还被构造成沿中心轴线竖直移动,并且将衬底定位在外壳内的不同位置。炉还包括:化学品输送管,其被构造成将化学蒸气引导到外壳;灯组件,其被构造成加热衬底的顶面;以及升降组件,其被构造成使主轴沿着中心轴线移动。CN115732343ACN115732343A权利要求书1/2页1.一种加工炉,包括:加工室,其限定外壳,所述加工室包括:主轴,其定位在所述外壳中并且被构造成:(a)在其上支撑衬底,(b)与所述衬底一起围绕所述加工室的中心轴线旋转,以及(c)沿着所述中心轴线竖直地移动以将所述衬底定位在所述外壳内的不同位置处;冷板,其形成所述外壳的底壁,所述冷板包括一个或多个通道,所述一个或多个通道被构造成引导液体冷却剂从中穿过;多个气体入口,其定位在所述外壳的底部区域处,所述多个气体入口被构造成将氮气引导到所述外壳中;和化学品输送管,其定位在所述外壳的顶部区域处,所述化学品输送管被构造成将化学蒸气引导到所述外壳中;和灯组件,其被构造成对支撑在所述主轴上的所述衬底的顶面加热,其中,所述灯组件包括多个间隔开的灯,并且其中,所述灯组件的相邻灯的间隔在所述灯组件的侧面处比在所述灯组件的中心处更近;其中,所述灯组件的相邻灯的间隔在所述灯组件的侧面处比在所述灯组件的中心处更小。2.根据权利要求1所述的炉,其中,所述化学品输送管还包括多个气体喷嘴,所述多个气体喷嘴被构造成将所述化学蒸气导向所述衬底的所述顶面。3.根据权利要求1所述的炉,其中,所述加工室还包括盖,并且所述灯组件布置在所述盖的下侧上。4.根据权利要求1所述的炉,其中,所述主轴还包括一个或多个热电偶,所述一个或多个热电偶被构造成接触所述衬底的表面。5.根据权利要求1所述的炉,其中,所述加工室的侧壁还包括衬底入口,所述衬底入口被构造成将所述衬底引导到所述外壳中。6.一种使用加工炉的方法,包括:将衬底支撑在所述加工炉的外壳中的可旋转主轴上;旋转所述衬底;将所述加工炉中压力的值降低至100毫托至100托之间;将所述衬底升高到所述外壳的位于所述外壳的顶部区域处的加热区域;开启所述炉的灯组件以加热所述衬底的顶面,其中,所述灯组件包括多个间隔开的灯;将所述衬底降低到所述外壳的定量给料区域;将化学蒸气引导到所述衬底的所述顶面上方的外壳中并且将惰性气体引导到所述衬底下方的外壳中;在引导所述化学蒸气之后,将所述衬底升高到所述加热区域以进一步利用所述灯组件加热所述衬底的所述顶面;以及在进一步加热所述衬底的所述顶面之后,将所述衬底降低至所述外壳的冷却区域。7.根据权利要求6所述的方法,其中,所述衬底还包括在所述顶面上的焊料,并且进一步加热所述衬底的所述顶面包括将所述顶面加热到所述焊料的熔化温度以上。8.根据权利要求6所述的方法,其中,还包括:在将所述衬底降低至所述冷却区域之后,2CN115732343A权利要求书2/2页将惰性气体引导到所述衬底上方的所述加工室中,以冷却所述衬底的所述顶面。9.根据权利要求6所述的方法,其中,在将所述衬底降低至所述冷却区域之后,将惰性气体引导到所述衬底下方的所述加工室中,以冷却所述衬底的背侧。10.根据权利要求6所述的方法,其中,将所述衬底降低至所述冷却区域包括:将所述衬底的背侧定位在所述加工室的冷板附近,并且通过所述冷板上的多个开口将惰性气体引导到所述加工室中,以冷却所述衬底的所述背侧。11.根据权利要求6所述的方法,其中,将所述衬底降低至所述冷却区域包括:使所述衬底的背侧与所述加工室的冷板接触并且引导冷却剂通过所述冷板。3CN115732343A说明书1/8页加工炉和加工方法技术领域[0001]本发明涉及回流焊炉和使用加工炉的方法。背景技术[000