一种锗单晶制备用单晶炉及工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115772702A(43)申请公布日2023.03.10(21)申请号202211371694.0(22)申请日2022.11.03(71)申请人昆明汇泉高纯半导材料有限公司地址650000云南省昆明市安宁市麒麟工业园区麒腾路2号(72)发明人唐安泰唐安雄李光洪高丽李艳梁小刚(74)专利代理机构云南文曲星专利代理事务所(普通合伙)53226专利代理师李宇华于亭(51)Int.Cl.C30B29/08(2006.01)C30B15/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图11页(54)发明名称一种锗单晶制备用单晶炉及工艺(57)摘要本发明涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种锗单晶制备用单晶炉及工艺。提供一种使得副炉体能够自动进行转动，便于将锗单晶取出的锗单晶制备用单晶炉及工艺。一种锗单晶制备用单晶炉及工艺，包括有：底座和支撑座，底座前部上侧连接有支撑座；主炉体，支撑座上部连接有主炉体；副炉体，主炉体上部滑动式连接有副炉体；连接座，主炉体上前部连接有连接座；气缸，连接座前部连接有气缸；进料阀门，气缸伸缩杆上连接有进料阀门，进料阀门与连接座和主炉体滑动式连接。CN115772702ACN115772702A权利要求书1/2页1.一种锗单晶制备用单晶炉，其特征在于，包括有：底座(1)和支撑座(2)，底座(1)前部上侧连接有支撑座(2)；主炉体(3)，支撑座(2)上部连接有主炉体(3)；副炉体(31)，主炉体(3)上部滑动式连接有副炉体(31)；连接座(5)，主炉体(3)上前部连接有连接座(5)；气缸(12)，连接座(5)前部连接有气缸(12)；进料阀门(4)，气缸(12)伸缩杆上连接有进料阀门(4)，进料阀门(4)与连接座(5)和主炉体(3)滑动式连接；石英钳锅(65)，支撑座(2)上滑动式连接有石英钳锅(65)，石英钳锅(65)位于主炉体(3)内部；钳锅旋转升降机构(6)，底座(1)上设有钳锅旋转升降机构(6)；籽晶旋转提升机构(7)，副炉体(31)上设有籽晶旋转提升机构(7)；副炉提升机构(8)，底座(1)后部设有副炉提升机构(8)，将单晶硅投入石英钳锅(65)内，利用主炉体(3)对单晶硅进行融化，随后通过钳锅旋转升降机构(6)对石英钳锅(65)进行转动和升降，同时利用籽晶旋转提升机构(7)将籽晶进行旋转提升，成型的锗单晶会存放在副炉体(31)内，接着通过副炉提升机构(8)对副炉体(31)进行提升，将锗单晶取出。2.如权利要求1所述的一种锗单晶制备用单晶炉，其特征在于，钳锅旋转升降机构(6)包括有：第一导向座(61)，底座(1)前部上侧栓接有第一导向座(61)；第一伺服电机(62)，第一导向座(61)后部上侧连接有第一伺服电机(62)；第一丝杆(63)，第一伺服电机(62)输出轴上连接有第一丝杆(63)；第二伺服电机(64)，第一导向座(61)上滑动式连接有第二伺服电机(64)，第二伺服电机(64)的输出轴与石英钳锅(65)连接，第二伺服电机(64)与第一丝杆(63)螺纹式连接，利用第一伺服电机(62)通过控制第二伺服电机(64)升降带动石英钳锅(65)进行升降，同时利用第二伺服电机(64)控制石英钳锅(65)进行旋转。3.如权利要求2所述的一种锗单晶制备用单晶炉，其特征在于，籽晶旋转提升机构(7)包括有：第三伺服电机(71)，副炉体(31)上部前侧连接有第三伺服电机(71)；丝绳提升组件(73)，副炉体(31)上侧连接有丝绳提升组件(73)；钢丝绳(74)，丝绳提升组件(73)下侧连接有钢丝绳(74)；传动组件(72)，第三伺服电机(71)输出轴上连接有传动组件(72)，传动组件(72)后部与钢丝绳(74)上部连接；直拉组件(75)，钢丝绳(74)下侧连接有直拉组件(75)，利用第三伺服电机(71)通过传动组件(72)带动钢丝绳(74)进行转动，进而带动直拉组件(75)进行转动，对反应后的单晶硅进行拉动成型为锗单晶。4.如权利要求3所述的一种锗单晶制备用单晶炉，其特征在于，副炉提升机构(8)包括有：第四伺服电机(81)，底座(1)后部前侧栓接有第四伺服电机(81)；第二丝杆(82)，第四伺服电机(81)输出轴上连接有第二丝杆(82)；2CN115772702A权利要求书2/2页第二导向座(83)，底座(1)后部前侧连接有第二导向座(83)，第二丝杆(82)上部与第二导向座(83)上部转动式连接；滑动座(84)，第二导向座(83)上下两部均滑动式连接有滑动座(84)，滑动座(84)均与第二丝杆(82)螺纹式连接；转动轴(86)，两个滑动座(84)前部之间转动式连接有转动轴(86)；连接件(85)，副炉体(31)上下两部均连接有连接件(85)，连接件(85)均与