一种实时监控单晶炉温度梯度的装置及其方法.pdf
曾琪****是我
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一种实时监控单晶炉温度梯度的装置及其方法.pdf
本发明公开了一种实时监控单晶炉温度梯度的装置及方法,该装置包括隔热挡板、纵向测温热电偶和横向测温热电偶,纵向测温偶头和横向测温偶头处在垂直于隔热挡板的同一条直线上。该方法包括以下步骤:在隔热挡板上下表面均匀选取测温点;制作纵向测温热电偶和横向测温热电偶,并固定在相应测温点处;连接温度显示仪;在单晶炉上设定参数,将型壳和母合金进行加热并完成浇铸;以一定速度向下抽拉载有型壳的结晶器,实时记录与读取温度显示仪上的测量数据,计算单晶炉在铸件制备过程中的实时温度梯度。本发明能够实时、准确、有效地对铸件凝固过程中的温
一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法.pdf
本发明公开了一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法,直拉法单晶炉包括:炉体和设置于所述炉体内部的坩埚、加热组件、测温组件和坩埚驱动组件,所述加热组件套设于所述坩埚外侧,所述测温组件连接于坩埚底端,所述坩埚驱动组件连接于所述测温组件一侧,所述加热组件、测温组件和坩埚驱动组件与控制器电连接。本发明结构简单,保温效果好,热量利用率高,在坩埚底端设置测温组件,对坩埚底端温度进行实时监控,通过控制器根据预设温度对加热组件的功率进行调控,实现坩埚内温度的控制,提高了单晶硅的品质,保证了单晶硅产出的一致性,进一步提高
一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法.pdf
本发明涉及一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法,属于单晶硅生产技术领域。直拉法单晶炉包括炉体,炉体内设置有坩埚和加热器,坩埚包括用于盛装熔体的石英坩埚和包裹在石英坩埚外的石墨坩埚,加热器设置在石墨坩埚的外侧,石墨坩埚的底部设有坩埚轴和测温装置,测温装置穿过所述坩埚轴中心并插入石墨坩埚的底部,测温装置的底部引出有与数据处理器连接的信号数据线。通过在石墨坩埚的底部设置测温装置,用于测量石英坩埚底部的温度,实时获得在拉晶过程中石英坩埚底部的温度变化,从而调整加热器的功率。
一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法.pdf
本发明公开了一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法,属于单晶硅生产领域,直拉单晶炉包括坩埚和加热器,加热器的外围设有保温层,坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在石英坩埚外的外围支撑坩埚;加热器包括包围在坩埚周围的主加热器和设置在坩埚的底部的辅加热器;保温层外在垂直方向上间隔设有若干热电偶测温探头,或在保温层上开有供红外测温仪测温的第一窗口。通过检测和控制石英坩埚内熔体的温度分布达到对拉晶过程的科学精准的控制,拉晶过程中控制坩埚底熔体温度尽可能低,以获得更低氧含量单晶,控制坩埚中熔体的最高温度尽可能
一种掺杂方法、单晶装置及单晶炉.pdf
本发明提供了一种掺杂方法、单晶装置及单晶炉,所述方法包括:在拉制当前单晶硅棒前,向硅熔料中加入第一预设质量的掺杂剂;在当前单晶硅棒的拉制过程中,检测当前单晶硅棒的生长长度;当所述当前单晶硅棒生长长度满足预设条件时,向硅熔料中加入与第二预设质量成比例的掺杂剂。本发明能够使掺杂剂的添加和当前单晶硅棒的拉制同步进行,且在拉制单晶硅的过程中,当当前单晶硅棒的生长长度满足预设条件时,向硅熔料中加入掺杂剂,由于坩埚转动产生的向心力,能够使掺杂剂均匀的分布在硅熔料液表面上,从而保证拉制的当前单晶硅棒各个部分掺杂剂的均匀