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一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法.pdf
2023-06-15
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雨星****萌娃
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一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法.pdf
本发明公开了一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法，直拉法单晶炉包括：炉体和设置于所述炉体内部的坩埚、加热组件、测温组件和坩埚驱动组件，所述加热组件套设于所述坩埚外侧，所述测温组件连接于坩埚底端，所述坩埚驱动组件连接于所述测温组件一侧，所述加热组件、测温组件和坩埚驱动组件与控制器电连接。本发明结构简单，保温效果好，热量利用率高，在坩埚底端设置测温组件，对坩埚底端温度进行实时监控，通过控制器根据预设温度对加热组件的功率进行调控，实现坩埚内温度的控制，提高了单晶硅的品质，保证了单晶硅产出的一致性，进一步提高
2023-06-15
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2023-06-16
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本发明公开了一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法，属于单晶硅生产领域，直拉单晶炉包括坩埚和加热器，加热器的外围设有保温层，坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在石英坩埚外的外围支撑坩埚；加热器包括包围在坩埚周围的主加热器和设置在坩埚的底部的辅加热器；保温层外在垂直方向上间隔设有若干热电偶测温探头，或在保温层上开有供红外测温仪测温的第一窗口。通过检测和控制石英坩埚内熔体的温度分布达到对拉晶过程的科学精准的控制，拉晶过程中控制坩埚底熔体温度尽可能低，以获得更低氧含量单晶，控制坩埚中熔体的最高温度尽可能
2023-06-16
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本发明公开了一种硅熔体连续加注的直拉硅单晶生长炉及其方法。由提拉头、副炉室、隔离阀、炉体、上部保温罩、加热器、坩埚升降旋转机构、石墨坩埚、坩埚、钢丝绳、夹头等组成单晶提拉部分，由小炉筒、加料仓，隔离阀、加料和称重装置、连续熔化管，隔热体、加热器、熔体温度稳定管等构成熔体连续加注部分，实现多晶硅的连续熔化和硅单晶的连续生长。本发明能将相邻两次打开单晶炉的间隔时间延长到30天以上，能有效降低坩埚的尺寸、降低直拉硅单晶生长方法的能耗，提高了生产效率，也能有效降低直拉硅单晶生长方法的氧含量。
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单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶.pdf
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