一种分子束外延设备磷源炉装料机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115976645A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310015942.6(22)申请日2023.01.06(71)申请人新磊半导体科技（苏州）股份有限公司地址215151江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园28号厂房(72)发明人苏杰冯巍杜全钢姜炜(51)Int.Cl.C30B29/40(2006.01)C30B25/14(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种分子束外延设备磷源炉装料机(57)摘要本发明提供一种分子束外延设备磷源炉装料机，涉及分子束外延生长技术领域。该装料机包括：分子束外延设备源炉、与坩埚相连的源炉法兰底座、立方体箱体、手伸入口、拱桥形箱体、卡扣；分子束外延设备源炉内装有与坩埚相连的源炉法兰底座且放置于立方体箱体内，立方体箱体一侧设置手伸入口，立方体箱体由两个拱桥形箱体组合而成，两个拱桥形箱体结合处分别为凹形与凸形界面，立方体箱体的材质为高分子材料，拱桥形箱体上设置卡扣。与现有技术相比，解决了分子束外延设备源炉填装磷材料时，因材料长期暴露于空气中导致其表面氧化，不利于生长出高质量的磷化铟薄膜；同时，也可避免填装磷材料时发生自燃的风险，提高了它的可靠性与安全性。CN115976645ACN115976645A权利要求书1/1页1.一种分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，包括分子束外延设备源炉、与坩埚相连的源炉法兰底座、立方体箱体、手伸入口、拱桥形箱体、卡扣；所述分子束外延设备源炉内装有所述与坩埚相连的源炉法兰底座，且放置于所述立方体箱体内，所述立方体箱体一侧设置所述手伸入口，所述立方体箱体由两个所述拱桥形箱体组合而成，两个所述拱桥形箱体结合处分别为凹形与凸形界面，所述立方体箱体的材质为高分子材料，所述拱桥形箱体设置所述卡扣。2.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体设置压力表、进气阀门；所述立方体箱体与所述压力表相连接，所述压力表与所述进气阀门相连接。3.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体设置排气阀门、干泵；所述立方体箱体与所述排气阀门相连接，所述排气阀门与所述干泵相连接。4.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体内设置氧传感器；所述氧传感器固定于所述立方体箱体顶部。5.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体内设置摇杆、支撑柱、U型平台，所述立方体箱体内设有两个所述支撑柱，所述支撑柱上悬挂所述U型平台，所述支撑柱与所述摇杆相连接。6.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体内设置喷水器、进水阀门、水压计，所述立方体箱体顶部安装所述喷水器，所述喷水器与所述进水阀门相连接，所述进水阀门与所述水压计相连接。7.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述拱桥形箱体半圆形位置处设置密封圈，所述拱桥形箱体半圆形位置处嵌入所述密封圈，所述密封圈的材质为耐高温橡胶材料。8.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体底部设置可升降支柱、手动摇杆，所述立方体箱体底部安装所述可升降支柱，所述可升降支柱与所述手动摇杆相连接。9.根据权利要求1所述的分子束外延设备磷源炉装料机，其特征在于，所述立方体箱体底部设置卡槽，所述卡槽底部的形状为齿状形。2CN115976645A说明书1/4页一种分子束外延设备磷源炉装料机技术领域[0001]本发明涉及分子束外延生长技术领域，具体涉及一种分子束外延设备磷源炉装料机。背景技术[0002]磷化铟(InP)是重要的III‑V族化合物半导体材料之一，广泛地应用于半导体外延生长技术领域。外延生长磷化铟薄膜所需的源材料‑‑磷，是一种燃点低，有毒，易氧化的材料。因此，对于该材料的填装，具有严格的要求。一方面，为了避免由于填装磷材料的时间过长，导致磷材料表面氧化，从而不利于外延生长出高质量的磷化铟薄膜；另一方面，填装磷材料时需要无氧的环境，可避免磷材料在填装过程中因为材料间碰撞而导致其燃烧的风险，也可避免工作人员吸入有毒气体，影响身体健康。面对这些问题，需要提出一种分子束外延设备磷源炉装料机来解决这些问题。发明内容[0003]本发明的目的在于，针对上述现有技术的不足，提供了一种分子束外延设备磷源炉装料机，以解决分子束外延设备源炉填装磷材料时，因填装磷材料时间过长导致磷材料表面氧化，不利于外延生长出高品质的磷化铟薄膜；同时也由于填装磷材料时因材料之间碰撞而导致其燃烧，释放有毒气体，影响工作人员的身体健康的问题。[0004]为实现上述目的，本发明