感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法和印刷线路板的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102395924A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102395924A(43)申请公布日2012.03.28(21)申请号201080017169.8(72)发明人宫坂昌宏锻治诚印杰姜学松(22)申请日2010.04.26孙利达(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限(30)优先权数据2009-1110762009.04.30JP公司11243代理人金鲜英刘强(85)PCT申请进入国家阶段日2011.10.17(51)Int.Cl.G03F7/031(2006.01)(86)PCT申请的申请数据C07D241/42(2006.01)PCT/JP2010/0573672010.04.26C08F2/50(2006.01)(87)PCT申请的公布数据C08F220/06(2006.01)WO2010/126006JA2010.11.04G03F7/004(2006.01)(71)申请人日立化成工业株式会社G03F7/033(2006.01)地址日本东京都H05K3/00(2006.01)申请人上海交通大学权利要求书2页说明书26页附图5页(54)发明名称感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法和印刷线路板的制造方法(57)摘要一种感光性树脂组合物，含有粘合剂聚合物、具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物和选自由具有下述式(1)、(2)或(3)所示的结构的化合物组成的组中的至少1种吡嗪化合物。[式(1)～(3)中，R1～R12各自独立地表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环式基的1价有机基团，R1和R2、R3和R4、R5和R6、R7和R8、R9和R10、或者R11和R12可以相互结合而与吡嗪骨架的2个碳原子一起形成环。式(2)中，X和Y各自独立地表示构成与吡嗪骨架的2个碳一起形成的单环结构或缩合多环结构的芳香族环的原子群，式(3)中，Z表示构成与CN1023954A吡嗪骨架的4个碳一起形成的单环结构或缩合多环结构的芳香族环、或者杂环的原子群]。CCNN110239592402395934A权利要求书1/2页1.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物和选自由具有下述式(1)、(2)或(3)所示的结构的化合物组成的组中的至少1种吡嗪化合物；式(1)中，R1、R2、R3和R4各自独立地表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环式基的1价有机基团，R1和R2、或R3和R4可以相互结合而与吡嗪骨架的2个碳原子一起形成环；式(2)中，R5、R6、R7和R8各自独立地表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环式基的1价有机基团，R5和R6、或R7和R8可以相互结合而与吡嗪骨架的2个碳原子一起形成环，X和Y各自独立地表示构成与吡嗪骨架的2个碳一起形成的单环结构或缩合多环结构的芳香族环的原子群；式(3)中，R9、R10、R11和R12各自独立地表示包含烷基、环烷基、苯基、萘基或杂环式基的1价有机基团，R9和R10、或R11和R12可以相互结合而与吡嗪骨架的2个碳原子一起形成环，Z表示构成与吡嗪骨架的4个碳一起形成的单环结构或缩合多环结构的芳香族环、或者杂环的原子群。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述吡嗪化合物为具有所述式(1)所示的结构的化合物。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述吡嗪化合物的极大吸收波长在350～410nm的范围内。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的感光性树脂组合物，所述粘合剂聚合物含有(甲基)丙烯酸、以及苯乙烯或苯乙烯衍生物作为共聚成分。5.根据权利要求1～4中任意一项所述的感光性树脂组合物，含有下述式(4)所示的化合物；2CCNN110239592402395934A权利要求书2/2页式(4)中，X表示碳原子或氮原子，R13、R14和R15各自独立地表示卤素原子或碳原子数1～5的烷基，R13、R14和R15中的至少一个表示卤素原子，R16表示氢原子、碳原子数1～5的烷基或碳原子数1～5的烷氧基，l表示0～4的整数，l为2～4时，多个R16可以相同也可以不同。6.根据权利要求1～5中任意一项所述的感光性树脂组合物，进一步含有供氢性化合物。7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，所述供氢性化合物含有下述式(5)所示的化合物；式(5)中，R17表示碳原子数1～6的烷基、烷氧基或酯基、羟基、或者卤素原子，n为0～5的整数，n为2～5时，多个R17可以相同也可以不同。8.一种感光性元件，具备支撑体和形成于该支撑体上的由权利要求1～7中任意一项所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层。9.一种抗蚀图形的形成方法，其包括：将由权利要求1～7中任意一项所述的感光性树脂组合物构成的感光性树脂组合物层层叠在基板