一种用于PECVD设备的自动上下料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102709212102709212B(45)授权公告日2015.01.07(21)申请号201210073162.9体实施方式部分.CN201908132U,2011.07.27,全文.(22)申请日2012.03.20US2011/0217469A1,2011.09.08,全文.(73)专利权人深圳丰盛装备股份有限公司审查员凌宇飞地址518000广东省深圳市南山区高新区北区北环大道9018号大族创新大厦B区1-2层(72)发明人王俊朝王滋润蔡朋涛李军阳(74)专利代理机构深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙)44315代理人陈琳(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)B25J13/00(2006.01)(56)对比文件CN201778110U,2011.03.30,附图1、2及具权权利要求书2页利要求书2页说明书5页说明书5页附图4页附图4页(54)发明名称一种用于PECVD设备的自动上下料装置(57)摘要本发明涉及一种用于PECVD设备的自动上下料装置，包括控制模块和支座；支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在储舟位、小车和桨位上存取的机械手；支座上还设置有用于控制机械手在水平方向运动的水平运动单元，和用于控制机械手在垂直方向上下运动的垂直运动单元；控制模块与PECVD设备的上位机连接，用于根据储舟位、小车和桨位上有无石墨舟的状态信号、以及上位机的取石墨舟、装石墨舟信号来控制水平运动单元和垂直运动单元驱动机械手动作。本发明可以做到定位准确，装卸石墨舟效率高，降低了操作员的工作强度，不会损坏石墨舟，且镀膜均匀性好，同时还能大大延长石墨舟的使用寿命。CN102709212BCN10279BCN102709212B权利要求书1/2页1.一种用于PECVD设备的自动上下料装置，其特征在于，包括控制模块和支座；所述支座上设置有用于放置石墨舟的储舟位、小车和桨位，以及设置有用于完成石墨舟在所述储舟位、所述小车和所述桨位上存取的机械手；所述支座上还设置有用于控制所述机械手在水平方向上运动的水平运动单元，和用于控制所述机械手在垂直方向上运动的垂直运动单元；所述控制模块与所述PECVD设备的上位机连接，用于根据所述储舟位、所述小车和所述桨位上有无石墨舟的状态信号、以及所述上位机的取石墨舟、装石墨舟信号来控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手动作；所述控制模块包括：小车状态检测单元、储舟位状态检测单元、桨位状态检测单元、机械手控制单元、上位机信号检测单元和优先选择单元；其中，所述小车状态检测单元，用于检测所述小车上是否有石墨舟；所述储舟位状态检测单元，用于检测所述储舟位上是否有石墨舟；所述桨位状态检测单元，用于检测所述桨位上是否有石墨舟；上位机信号检测单元，用于检测所述上位机发送来的信号；优先选择单元，用于接收外界输入的优先控制信号，并发送给所述机械手控制单元；所述机械手控制单元，用于在所述小车上有石墨舟、且所述储舟位和所述桨位上无石墨舟时，控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手从所述小车上取石墨舟后放到所述储舟位上。2.根据权利要求1所述的自动上下料装置，其特征在于，所述机械手控制单元还用于在所述上位机信号检测单元检测到所述上位机发送取石墨舟信号时，控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手将石墨舟放置在小车上并松开小车，以及用于在所述上位机信号检测单元检测到所述上位机发送装石墨舟信号时，控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手从所述小车或从所述储舟位上取石墨舟放置在所述桨位上。3.根据权利要求2所述的自动上下料装置，其特征在于，所述机械手控制单元还用于在所述优先控制信号有效、所述小车上有石墨舟、且所述储舟位和所述桨位上无石墨舟时，直接判断是否接收到所述上位机发送来的装石墨舟信号，并在接收到所述装石墨舟信号时，控制所述水平运动单元和所述垂直运动单元驱动所述机械手从所述小车上取石墨舟后放置到所述桨位上。4.根据权利要求3所述的自动上下料装置，其特征在于，所述控制模块还包括：报警单元，用于在所述小车上有石墨舟、且所述储舟位和所述桨位上无石墨舟时，进行舟满报警提示，以及用于在所述小车被松开后进行报警提示。5.根据权利要求4所述的自动上下料装置，其特征在于，所述控制模块还包括：显示单元，用于显示所述储舟位有无石墨舟状态、所述小车有无石墨舟状态、所述桨位有无石墨舟状态和所述机械手位置状态中的一个或多个。6.根据权利要求1所述的自动上下料装置，其特征在于，所述支座为框架结构，所述垂直运动单元沿上下方向设置在所述支座上，所述水平运动单元与所述垂直运动单元相连