真空吸附平台的气路控制系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103439960A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103439960103439960A(43)申请公布日2013.12.11(21)申请号201310380097.9(22)申请日2013.08.27(71)申请人广东大族粤铭激光科技股份有限公司地址523000广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业东路28号(72)发明人卓劲松王军张进黄锦雄(74)专利代理机构北京风雅颂专利代理有限公司11403代理人李翔李弘(51)Int.Cl.G05B19/44(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称真空吸附平台的气路控制系统(57)摘要一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，真空吸附工作台处于负压状态；完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于取料的现象发生。CN103439960ACN103496ACN103439960A权利要求书1/1页1.一种真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，所述真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接;所述电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上;加工时，直流阀断电连通、所述电磁阀通电断气、第一旋涡气泵、第二旋涡气泵均工作抽气;所述第一旋涡气泵通过第一分气座对真空吸附工作台进行抽气，使真空吸附工作台处于负压状态，第一旋涡气泵抽出的气体流经调压过滤器及烟气净化罩后被第二旋涡气泵抽出；完成材料加工后，直流阀通电断开、所述电磁阀断电通气、第一旋涡气泵工作抽气、第二旋涡气泵停止工作，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。2.根据权利要求1所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述真空吸附工作台设有四个气口，所述第一分气座分四路气管与真空吸附工作台的四个气口对应连接。3.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:还包括一压力感测器，所述压力感测器通过一Y型快插三通插头与第一分气座和真空吸附工作台连接的四路气管中的一路气管连接。4.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述电磁阀一端通过一Y型快插三通插头连接于第一分气座和真空吸附工作台之间的一路气管，该电磁阀另一端通过一Y型快插三通插头与连接调压过滤器及烟气净化罩的气管连接。5.根据权利要求2所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述烟气净化罩内还设有离子风棒，所述烟气净化罩采用Y型快插三通插头与调压过滤器连接，烟气净化罩通过采用Y型快插三通插头进行上下端两路输入。6.根据权利要求1所述的真空吸附平台的气路控制系统，其特征在于:所述气管为PU管。2CN103439960A说明书1/3页真空吸附平台的气路控制系统技术领域[0001]本发明涉及一种气路控制系统，具体涉及一种真空吸附平台的气路控制系统。背景技术[0002]材料进行切割、蚀刻或其它形式的处理时，防止材料抖动或位置发生偏移，形响加工质量，常需要先将材料进行固定，再作加工处理。[0003]现有技术中，材料作加工处理时，常采用真空吸附平台对轻薄的片状材料固定，真空吸附平台的气路控制通常利用真空发生器或者真空泵直接产生负压对平台上的材料进行吸平及吸附，也有采用旋涡气泵往外抽气形成负压吸附。当用户需要放料时，平台处于自然状态，不会对材料产生吸附力，待用户放置好材料后，旋涡气泵开始抽气，真空吸附平台腔体产生负压将材料吸紧。[0004]然而，上述的真空吸附平台的气路控制系统中，当材料加工完成后进行收料时，此时由于真空未被破坏，易造成取料困难的现象发生。发明内容[0005]基于此，有必要针对现有技术中的不足，提供一种真空吸附平台的气路控制系统。[0006]本发明是通过以下方式实现的：一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，所述真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；所述电磁阀的两端分别连接于第