一种等离子体发生装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103458601A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103458601103458601A(43)申请公布日2013.12.18(21)申请号201310416057.5(22)申请日2013.09.12(71)申请人大连民族学院地址116600辽宁省大连市金州新区辽河西路18号(72)发明人刘东平倪维元(74)专利代理机构大连东方专利代理有限责任公司21212代理人姜玉蓉李洪福(51)Int.Cl.H05H1/24(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图1页附图1页(54)发明名称一种等离子体发生装置(57)摘要本发明公开了一种等离子体发生装置，包括电源、反应腔，反应腔包括框架，框架具有下水平板、中间水平板和上水平板，上水平板与中间水平板之间设置有高压腔，中间水平板与下水平板之间设置有气体腔，下水平板上阵列设置有多个通孔，中间水平板上固定连接有钨针，钨针悬空设置于通孔内，钨针穿透中间水平板设置，中间水平板的上表面密压设置有铝箔纸，钨针与铝箔纸电连接，铝箔纸与高压腔电连接；气体腔的两端设置有进料管道，气体腔通过进料管道连通有质量流量控制器，框架的下方设置有接地电极；该装置还包括示波器、高压探头和电源探头，示波器通过高压探头与电源电连接，电源与高压腔电连接，示波器还通过电源探头与所述接地电极电连接。CN103458601ACN1034586ACN103458601A权利要求书1/1页1.一种等离子体发生装置，包括电源（2），其特征在于：还包括反应腔（1），所述反应腔（1）包括框架（10），所述框架（10）的底部固定连接有下水平板（13），所述框架（10）的中部固定连接有中间水平板（12），所述框架（10）的顶部固定连接有上水平板（11），所述上水平板（11）与中间水平板（12）之间设置有高压腔（8），所述中间水平板（12）与下水平板（13）之间设置有气体腔（9），所述下水平板（13）上阵列设置有多个通孔（14），所述中间水平板（12）上固定连接有与所述通孔（14）位置一一对应的钨针（15），所述钨针（15）悬空设置于通孔（14）内，所述钨针（15）穿透中间水平板（12）设置，所述中间水平板（12）的上表面密压设置有铝箔纸（19），所述钨针（15）与铝箔纸（19）电连接，所述铝箔纸（19）与高压腔（8）电连接；所述气体腔（9）的两端设置有进料管道（18），所述气体腔（9）通过进料管道（18）连通有质量流量控制器（3），所述框架（10）的下方设置有接地电极（4）；该等离子体发生装置还包括示波器（5）、高压探头（6）和电源探头（7），所述示波器（5）通过高压探头（6）与电源（2）电连接，所述电源（2）与高压腔（8）电连接，所述示波器（5）还通过电源探头（7）与所述接地电极（4）电连接。2.根据权利要求1所述的一种等离子体发生装置，其特征还在于：所述接地电极（4）由石英板（16）和铜板（17）构成，所述石英板（16）固定连接在铜板（17）的上方。3.根据权利要求1所述的一种等离子体发生装置，其特征还在于：工作状态下，所述反应腔（1）的下水平板（13）距预处理材料表面的距离在1mm范围内。2CN103458601A说明书1/3页一种等离子体发生装置技术领域[0001]本发明涉及在大气压条件下，利用多层石英板中内嵌钨针电极通过注入反应气体（空气）产生大面积阵列式微等离子体的生产设备，尤其涉及一种应用于清洗材料表面的阵列式等离子体发生装置。背景技术[0002]目前，很多材料表面的性能有很大的缺陷，不能满足现实生活中的需求，从大的行业角度来讲包括电子、汽车、朔料、医疗、轻纺等与我们密切相关的领域。然而我们尝试用不同的方法来处理其表面，使其达到一定的性能指标，这种技术我们也可称之为表面清洗技术，材料表面清洗有很多方法，有化学方法、有物理方法，传统的清洗方法大多为化学清洗，比如常用的清洗液，但是清洗液的化学试剂对要清洗的材料表面工艺有很大影响，而且清洗液大多数是酸或碱性溶液，产生环境污染，不利于环保，因此传统的清洗方法已不能满足现今社会的需要。随着科技的发展，等离子体清洗技术已逐步深入到各行各业中，等离子体清洗是不分处理对象、基材类型均可进行处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗，具有良好的均匀性和重复性。但是现有等离子体清洗设备，大多为射频或微波等离子体清洗设备，这些设备不仅体型庞大成本高，而且耗能高，有的还需要复杂的真空系统，它更适合于实验室研究等，不能满足现代化市场的迅速需求。发明内容[0003]根据现有技术存在的问题，本发明公开了一种等离子体发生装置，包括电源，还包括反应腔，所述反应腔包括框架，所述框架的底部固定连接有下水平板，所述