影像感测装置及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105390511A(43)申请公布日2016.03.09(21)申请号201510390305.2(22)申请日2015.07.06(30)优先权数据14/463,9382014.08.20US(71)申请人采钰科技股份有限公司地址中国台湾新竹市(72)发明人吴翰林郑杰元萧玉焜陈皇任(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司72003代理人李昕巍郑特强(51)Int.Cl.H01L27/146(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图9页(54)发明名称影像感测装置及其制造方法(57)摘要一种影像感测装置及其制造方法，影像感测装置包括：一主动层，具有多个感光元件；一色彩图案，设置于该些感光元件之一上，其中该色彩图案的色彩选自由红色、绿色与蓝色所组成的族群；一微透镜，设置于该色彩图案上；以及一透光图案，邻近于该色彩图案且位于该些感光元件的另一上，其中该透光图案包括一彩色滤光部与一微透镜部，而该微透镜与该色彩图案之间的折射率差的绝对值少于0.3，且该透光图案的该微透镜部与该彩色滤光部的折射率之间没有差异。CN105390511ACN105390511A权利要求书1/1页1.一种影像感测装置，包括：一主动层，具有多个感光元件；一色彩图案，设置于该些感光元件之一上，其中该色彩图案的色彩选自由红色、绿色与蓝色所组成族群；一微透镜，设置于该色彩图案上；以及一透光图案，邻近于该色彩图案且位于该些感光元件的另一的上，其中该透光图案包括一彩色滤光部与一微透镜部，而该微透镜与该色彩图案之间的折射率差的绝对值少于0.3，且该透光图案的该微透镜部与该彩色滤光部的折射率之间没有差异。2.如权利要求1所述的影像感测装置，其中该色彩图案为红色的，且具有1.7-1.9的折射率，或该色彩图案为蓝色的，且具有1.5-1.7的折射率，或该色彩图案为绿色的，且具有1.6-1.7的折射率。3.如权利要求1所述的影像感测装置，其中该微透镜具有一圆滑化形状，以及该透光图案的该微透镜部具有一圆滑化形状。4.如权利要求1所述的影像感测装置，其中透光图案与其下方的该感光元件形成了一透明像素或一白色像素。5.一种影像感测装置的制造方法，包括：提供一影像感测结构，包括具有多个感光元件的一主动层与一色彩图案，其中该色彩图案设置于该些感光元件之一上，该色彩图案的色彩选自由红色、绿色与蓝色所组成族群；形成一透光图案，邻近于该色彩图案且位于该些感光元件的另一的上，其中该透光图案包括一彩色滤光部与位于该彩色滤光部上的一微透镜部；以及形成一微透镜于该色彩图案上，其中该微透镜与该色彩图案的折射率差的绝对值少于0.3，而该透光图案的该微透镜部与该彩色滤光部的折射率之间则没有差异。6.如权利要求5所述的影像感测装置的制造方法，其中形成该透光图案包括：形成一透光层于该主动层上；形成一硬罩幕图案于该透光层的一部分与该透光层下方的该些感光元件之一上；以及采用该硬罩幕图案作为一蚀刻罩幕，对该透光层施行一蚀刻制程而形成该透光图案。7.如权利要求5所述的影像感测装置的制造方法，其中形成该微透镜包括：形成一微透镜图案于该色彩图案上；以及施行一热制程并变形该微透镜图案成为位于该色彩图案上的该微透镜。8.如权利要求5所述的影像感测装置的制造方法，其中该色彩图案为红色的，且具有1.7-1.9的折射率，或该色彩图案为蓝色的，且具有1.5-1.7的折射率，或该色彩图案为绿色的，且具有1.6-1.7的折射率，且其中该透光图案具有1.75-1.95的折射率。9.如权利要求5所述的影像感测装置的制造方法，其中该微透镜具有一圆滑化形状，且该透光图案的该微透镜部具有一圆滑化形状。10.如权利要求5所述的影像感测装置的制造方法，其中透光图案与其下方的该感光元件形成了一透明像素或一白色像素。2CN105390511A说明书1/7页影像感测装置及其制造方法技术领域[0001]本发明涉及影像感测装置，且特别涉及其内具有彩色滤光物材料与微透镜材料之间的减少折射率差异情形的一种影像感测装置及其制造方法。背景技术[0002]影像感测装置为当今如数码相机、行动电话以及玩具等众多光电装置内的必要构件之一。现有影像感测装置则包括电耦合装置(chargecoupleddevice,CCD)影像感测装置与互补型金氧半导体(complementarymetaloxideoxide,CMOS)影像感测装置。[0003]影像感测装置通常包括了平面阵列化的多个像素胞(pixelcells)，其中各像素胞包括了一光电管(photogate)、一光导体(photoconductor)或具有用于累积光电电荷用的掺杂区的一感光二极管(photodiode)。于此平面阵列化的像素胞上则叠设