一种磁控拉单晶超导磁体线圈.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115762954A(43)申请公布日2023.03.07(21)申请号202211699800.8(22)申请日2022.12.28(71)申请人连城凯克斯科技有限公司地址214000江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号(72)发明人高树良周敏沈安袁小元(51)Int.Cl.H01F6/06(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种磁控拉单晶超导磁体线圈(57)摘要本发明是一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其结构包括第一线圈组和第二线圈组，第一线圈组和第二线圈组相对设置且均为结构相同的弧形环结构，第一线圈组和第二线圈组都分别由六个环状的子线圈组成。本发明的优点：采用六线圈结构，有效降低了单个线圈的绕线难度，提高了生产效率。同时六线圈结构受力更合理，可缓解线圈在运行过程中失超的风险。可提高磁控拉单晶磁体的批量生产效率，降低了生产和维护成本。CN115762954ACN115762954A权利要求书1/1页1.一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其特征在于，包括第一线圈组(1)和第二线圈组(2)，第一线圈组(1)和第二线圈组(2)相对设置且均为结构相同的弧形环结构，第一线圈组(1)和第二线圈组(2)都分别由六个环状的子线圈组成。2.如权利要求1所述的一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其特征在于，所述的第一线圈组(1)和第二线圈组(2)中相邻两个子线圈之间的电流方向相反。3.如权利要求1所述的一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其特征在于，所述的第一线圈组(1)和第二线圈组(2)中六个子线圈的形状和尺寸均相同。4.如权利要求1所述的一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其特征在于，所述的六个子线圈呈两行三列依次阵列设置。5.如权利要求1所述的一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其特征在于，所述的六个子线圈呈三行两列依次阵列设置。2CN115762954A说明书1/2页一种磁控拉单晶超导磁体线圈技术领域[0001]本发明涉及的是一种磁控拉单晶超导磁体线圈，属于半导体生产设备技术领域。背景技术[0002]高纯单晶硅广泛应用于太阳能电池、集成电路、半导体等行业，是光伏发电、电子信息等高新技术产业的关键材料之一。[0003]现有技术中，磁控拉单晶用超导磁体一般磁体线圈多为4个线圈甚至更多，结构复杂、磁场利用率不高，特别是4线圈及以上结构由于线圈与线圈之间磁场有相互抵消的问题，导致磁场利用率较低，因此相同磁场需求下超导线的用量较多成本较高。[0004]CN210535437U一种传导冷却磁控拉单晶超导磁体装置采用了马鞍形线圈，可避免上述问题，提高了磁体利用率。然而由于磁控拉单晶的磁体直径约为2m，且线圈为马鞍形曲面线圈，绕制比较困难，耗时较多，生产效率较低。[0005]CN113889314A一种磁控拉单晶超导磁体线圈及超导磁体装置采用两个并排设置子线圈组的线圈组来降低绕线难度，然而还是存在受力不合理，生产效率提升不够明显的问题。发明内容[0006]本发明提出的是一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，进一步降低绕线难度和合理化受力，提高生产效率。[0007]本发明的技术解决方案：一种磁控拉单晶超导磁体线圈，其结构包括第一线圈组和第二线圈组，第一线圈组和第二线圈组相对设置且均为结构相同的弧形环结构，第一线圈组和第二线圈组都分别由六个环状的子线圈组成。[0008]优选的，所述的第一线圈和第二线圈组中相邻两个子线圈之间的电流方向相反。[0009]优选的，所述的第一线圈组和第二线圈组中六个子线圈的形状和尺寸均相同。[0010]优选的，所述的六个子线圈呈两行三列依次阵列设置。[0011]或者，优选的，所述的六个子线圈呈三行两列依次阵列设置。[0012]本发明的优点：采用六线圈结构，有效降低了单个线圈的绕线难度，提高了生产效率。同时六线圈结构受力更合理，可缓解线圈在运行过程中失超的风险。可提高磁控拉单晶磁体的批量生产效率，降低了生产和维护成本。附图说明[0013]图1是本发明磁控拉单晶超导磁体线圈的结构示意图。[0014]图中的1是第一线圈组、2是第二线圈组、3是第一分线圈、4是第二分线圈、5是第三分线圈、6是第四分线圈、7是第五分线圈、8是第六分线圈。3CN115762954A说明书2/2页具体实施方式[0015]下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。[0016]如图1所示，一种磁控拉单晶超导磁体线圈，包括第一线圈组1和第二线圈组2，第一线圈组1和第二线圈组2相对设置且均为结构相同的弧形环结构，第一线圈组1和第二线圈组2都分别由六个阵列分布的环状的子线圈组成。[0017]第一线圈组1和第二线圈组2分别将现有技术马鞍形线圈结构分为六个子线圈，保留了马鞍形线圈磁控