一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113832504A(43)申请公布日2021.12.24(21)申请号202111126573.5C23C28/00(2006.01)(22)申请日2021.09.26C25D3/38(2006.01)C25D3/48(2006.01)(71)申请人香港科技大学深圳研究院C25D5/10(2006.01)地址518057广东省深圳市南山区高新科H01L31/0216(2014.01)技产业园南区粤兴一道9号香港科大深圳产学研大楼(72)发明人范智勇束磊朱奕漪陈哲思(74)专利代理机构北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司11385代理人吕永齐(51)Int.Cl.C25D1/10(2006.01)B05D7/14(2006.01)C23C14/08(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图1页(54)发明名称一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用(57)摘要本发明涉及光伏电池技术领域，尤其涉及一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用。本发明利用聚苯乙烯小球模板，在铝片表面蒸镀沉积一层氧化铝，随后去除聚苯乙烯小球得到具有正六边形网状结构的氧化铝层，最后通过阳极氧化反应，制备得到具有环形纳米孔结构的氧化铝层；利用本发明所述制备方法制备得到的减反射膜模具在后续制备减反射膜时，可以使减反射膜的表面具有环形纳米孔结构，使减反射膜同时具有较高的光吸收率。CN113832504ACN113832504A权利要求书1/2页1.一种镍模具的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将聚苯乙烯胶体球悬浮液、乙醇和磷酸混合，得到聚苯乙烯溶液；将铝片浸于水中，将所述聚苯乙烯溶液滑入水面，静置，滴加十二烷基硫酸钠，得到阵列结构的聚苯乙烯胶体球；将所述阵列结构的聚苯乙烯胶体球转移至铝片表面，进行氧等离子体处理后，得到铺有聚苯乙烯胶体球的铝片；所述铺有聚苯乙烯胶体球的铝片中的聚苯乙烯胶体球的直径小于所述聚苯乙烯胶体球悬浮液中的聚苯乙烯胶体球的直径；在所述铺有聚苯乙烯胶体球的铝片的表面沉积氧化铝层后，在氯仿溶液中进行清洗，得到第一铺有氧化铝层的铝片；所述第一铺有氧化铝层的铝片中的氧化铝层为网格状结构；以所述第一铺有氧化铝层的铝片为阳极，以碳棒为阴极，在第一电解液中进行第一电解，得到第二铺有氧化铝层的铝片；所述第二铺有氧化铝层的铝片中的氧化铝层为环形纳米孔结构；所述第一电解液为柠檬酸和磷酸的混合液；在所述第二铺有氧化铝层的铝片中的氧化铝层表面依次制备金层和铜层，得到第一中间产物；所述中间产物包括铝片和依次设置在所述铝片表面的氧化铝层、金层和铜层；将所述中间产物置于刻蚀液中进行刻蚀，得到第二中间产物；所述第二中间产物包括铜层和金层；在所述第二中间产物的金层表面电镀镍层后，去除铜层和金层，得到所述镍模具。2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚苯乙烯胶体球悬浮液的质量浓度为5～15％；所述磷酸的质量浓度为5～15％；所述聚苯乙烯胶体球悬浮液、乙醇和磷酸的体积比为1：(3～4)：1。3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述聚苯乙烯胶体球悬浮液中的聚苯乙烯胶体球的直径为0.6～1.5μm。4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧等离子体处理的功率为20～100W，氧流量为15～60sccm，时间为5～15min。5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述柠檬酸和磷酸的混合液中柠檬酸的质量浓度为1～3％；所述柠檬酸和磷酸的混合液中磷酸的质量浓度为5～15％；所述柠檬酸和磷酸的混合液中的溶剂包括水和乙二醇；所述水和乙二醇的体积比为(0.5～1)：(1～1.5)。6.权利要求1～5任一项所述的制备方法制备得到的镍模具，其特征在于，所述镍模具的表面具有环形纳米孔结构。7.权利要求6所述的镍模具在制备减反射膜中的应用。8.一种减反射膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用卷对卷制备的方式，将所述镍模具压印到聚合物薄膜表面，得到所述减反射膜；所述镍模具为权利要求6所述的镍模具。9.权利要求8所述制备方法制备得到的减反射膜，所述减反射膜的表面具有环形纳米孔结构。2CN113832504A权利要求书2/2页10.权利要求9所述的减反射膜在光伏领域中的应用。3CN113832504A说明书1/8页一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用技术领域[0001]本发明涉及光伏电池技术领域，尤其涉及一种镍模具及其制备方法和应用、减反射膜及其制备方法和应用。背景技术[0002]随着社会和经济的飞速发展，能源的需要日益增加，化石能源的日趋枯竭和给生态环境造成的污染，严重威胁着社会和经济的可持续发展。因此，