OLED金属掩模及其制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115142010A(43)申请公布日2022.10.04(21)申请号202210581868.X(22)申请日2022.05.26(30)优先权数据10-2022-00218162022.02.20KR(71)申请人江苏精润鸿测控技术有限公司地址210000江苏省南京市浦口区浦口经济开发区双峰路69号C-59(72)发明人金振禹(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205专利代理师黄琳娟(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/24(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图7页(54)发明名称OLED金属掩模及其制造方法(57)摘要提供了一种OLED蒸镀用金属掩模的制造方法，该方法可以将OLED蒸镀金属掩模的制备过程中的变形或弯曲概率降到最低，随着材料蒸镀时材料的均匀蒸镀而便于进行尺寸管理，可靠性提高。此外，提供了一种OLED蒸镀用金属掩模的制造方法，该方法在制造OLED蒸镀金属掩模时，可以使内饰线的凸起部分最小化，从而显著减少基板上产生划痕的概率，从而减少基板损伤造成的工艺不良，提高工艺收率。CN115142010ACN115142010A权利要求书1/1页1.一种OLED金属掩模，其具有OLED蒸镀用金属板的正面及与所述正面相反的背面，放置有多个掩模图案的掩模单元区域，以及放置在所述掩模单元区域外侧的虚拟区域的掩模片；放置在所述虚拟区域中，包围所述掩模单元区域的外侧，包括关于正面的前侧内饰线和背面的n条后侧内饰线。其中n是1到5的整数。所述掩模片包含：放置在所述虚拟区域，具有板型形态的虚拟部，放置所述掩模单元区域，排列成包围所述多个掩模图案的网格结构的具有多个加强肋的支撑部，和放置在所述掩模单元区域，贯通所述掩模片的正面和背面的所述多个掩模图案。所述内饰线，具有从所述掩模片的正面向背面方向去除部分厚度的前侧内饰线，以及从所述掩模片的第背面向正面方向去除部分厚度或穿透的n条的后侧内饰线；所述前侧内饰线和后侧内饰线被放置在所述虚拟区域中，并以一定的间隔隔离放置以包围所述掩模单元区域的外侧；所述前侧内饰线和后侧内饰线分别独立的以0.5～5mm的横向长度配置为特征的OLED蒸镀金属掩模制造方法。2.根据权利要求1所述的OLED金属掩模，所述后侧内饰线由n条组成，其中n为1～5的整数，其特征在于第一个后侧内饰线的中心部不与前侧内饰线的中心部位于同轴上的OLED蒸镀用金属掩模制造方法。3.根据权利要求1所述的OLED金属掩模，所述后侧内饰线由n条组成，其中n为1～5的整数，其特征在于第一个后侧内饰线的中心部与前侧内饰线的中心部位于同轴上的OLED蒸镀用金属掩模制造方法。4.根据权利要求1所述的OLED金属掩模，所述后侧内饰线由n条组成，其中n为1～5的整数，第二条后侧内饰线以从所述掩模片的正面向背面方向贯通为特征的OLED蒸镀用金属掩模制造方法。5.根据权利要求1所述的OLED金属掩模，所述后侧内饰线由n条组成，其中n为1～5的整数，第二条后侧内饰线从所述掩模片背面沿正面方向去除部分厚度的半蚀刻图案结构为特征的OLED蒸镀用掩模制造方法。6.根据权利要求1所述的OLED金属掩模，以所述前侧内饰线的深度为虚拟部厚度的10％～49％为特征的OLED蒸镀用金属掩模制造方法。2CN115142010A说明书1/9页OLED金属掩模及其制造方法技术领域[0001]这个发明涉及显示领域，更详细地说，涉及一种有机电致发光器件蒸镀用金属掩模，即显示的一种。背景技术[0002]到目前为止，液晶显示屏占据了平板显示屏的大部分，但开发更经济、性能更好、与液晶显示屏有差异化的新型平板显示屏也在全球范围内如火如荼进行着。有机电致发光器件(以下简称OLED)是近年来备受瞩目的新一代平板显示器，并将位置精度定为数微米(μm)以内。[0003]OLED的发光层是由有机化合物组成的薄膜发光二极管。OLED的结构由基板、阳极、阳极接受空穴的空穴注入层、输送空穴的空穴输送层、阻止电子从发光层进入空穴输送层的电子阻挡层、空穴和电子结合发光的发光层、阻止从发光层进入电子输送层的空穴阻挡层、从阴极接收电子并输送发光层的电子输送层、从阴极接收电子的电子注入层及阴极构成。根据情况，也可以在电子输运层或空穴输运层中掺杂少量的荧光或磷光染料，而无需单独的发光层来构成发光层。在制造OLED时，需要将这些多数薄膜层叠起来并进行图案化的薄膜工艺。薄膜工艺使用具有各自相应图案的掩膜组件，包含化学气相蒸镀(CVD，Chemicalvapordeposition)、溅射(sputtering)、离子镀(ionplating)和真空蒸镀(evapo