一种喷砂回收利用的装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115723059A(43)申请公布日2023.03.03(21)申请号202211292137.X(22)申请日2022.10.20(71)申请人中环领先半导体材料有限公司地址214000江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道(72)发明人罗昊姚科新黄春峰曹锦伟李仕权王彦君孙晨光韩少锋(74)专利代理机构苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32474专利代理师冷泠(51)Int.Cl.B24C9/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种喷砂回收利用的装置(57)摘要本发明公开了一种喷砂回收利用的装置，包括过滤桶，所述过滤桶的底部一侧设置有导出管，所述导出管的一端设置有循环泵，所述循环泵的输送端设置有循环管，所述循环管的外端设置有三向阀门，所述三向阀门对应的过滤桶顶部设置有放料口，所述放料口的内侧设置有过滤网。该一种喷砂回收利用的装置，在进行日常使用的过程中，通过控制循环砂过滤去杂以及成品循环配比砂浆使用方式，实现砂浆循环重复利用，大幅度降低生产成本，回收砂回收率达到50％，达到预期效果，回收沙粒度分析与新砂对比无明显差异，喷砂硅片OISF监控密度数据稳定，缺陷形貌未发生变化；产品最终体金属测试无异常。CN115723059ACN115723059A权利要求书1/1页1.一种喷砂回收利用的装置，包括过滤桶(5)，其特征在于：所述过滤桶(5)的底部一侧设置有导出管(6)，所述导出管(6)的一端设置有循环泵(7)，所述循环泵(7)的输送端设置有循环管(4)，所述循环管(4)的外端设置有三向阀门(1)。2.根据权利要求1所述的一种喷砂回收利用的装置，其特征在于：所述三向阀门(1)对应的过滤桶(5)顶部设置有放料口(2)，所述放料口(2)的内侧设置有过滤网(3)。3.根据权利要求1所述的一种喷砂回收利用的装置，其特征在于：所述过滤桶(5)的底部呈凸起的锥形状，且循环泵(7)的输入端通过导线与外部电源的输出端电性连接。4.根据权利要求1所述的一种喷砂回收利用的装置，其特征在于：所述回收利用方法包括通过回收水池对流出的砂浆进行集中性收集，再通过压滤机真空压滤使砂砾进行初步过滤减少砂砾含水量。5.根据权利要求1所述的一种喷砂回收利用的装置，其特征在于：所述回收利用方法包括通过过滤桶(5)内对回收砂进行二次过滤，排除大颗粒杂质，并持续搅拌，避免砂砾沉淀结块无法正常使用，将二次过滤砂砾与新砂按照特定比例混合后搅拌使用。2CN115723059A说明书1/2页一种喷砂回收利用的装置技术领域[0001]本发明涉及硅片喷砂后废砂浆在线回收处理技术领域，具体为一种喷砂回收利用的装置。背景技术[0002]在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉，由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在生产加工过程需要进行喷洒处理。[0003]硅片喷砂过程是一种使用微小砂砾(主要成分氧化硅)配合一定比例的水，然后配置成的砂浆通过循环泵加压喷淋在硅片表面，喷砂过程中砂颗粒在硅片制造微损伤层，而喷淋在硅片表面的砂浆会有部分附着在硅片表面和履带缝隙中传送带出，造成砂浆减少，导致造成砂浆的浪费。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种喷砂回收利用的装置，以解决上述背景技术中提出的喷砂过程中砂颗粒在硅片制造微损伤层，而喷淋在硅片表面的砂浆会有部分附着在硅片表面和履带缝隙中传送带出，造成砂浆减少，导致造成砂浆的浪费的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种喷砂回收利用的装置，包括过滤桶，所述过滤桶的底部一侧设置有导出管，所述导出管的一端设置有循环泵，所述循环泵的输送端设置有循环管，所述循环管的外端设置有三向阀门。[0006]优选的，所述三向阀门对应的过滤桶顶部设置有放料口，所述放料口的内侧设置有过滤网。[0007]优选的，所述过滤桶的底部呈凸起的锥形状，且循环泵的输入端通过导线与外部电源的输出端电性连接。[0008]优选的，所述回收利用方法包括通过回收水池对流出的砂浆进行集中性收集，再通过压滤机真空压滤使砂砾进行初步过滤减少砂砾含水量。[0009]优选的，所述回收利用方法包括通过过滤桶内对回收砂进行二次过滤，排除大颗粒杂质，并持续搅拌，避免砂砾沉淀结块无法正常使用，将二次过滤砂砾与新砂按照特定比例混合后搅拌使用。[0010]与现有技术相比，本发明的有益效果是：[0011]该一种喷砂回收利用的装置，在进行日常使用的过程中，通过控制循环砂过滤去杂以及成品循环配比砂浆