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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115774378A(43)申请公布日2023.03.10(21)申请号202211078952.6(22)申请日2022.09.05(30)优先权数据2021-1461492021.09.08JP(71)申请人佳能株式会社地址日本东京都大田区下丸子3-30-2(72)发明人宫崎骏佑(74)专利代理机构北京怡丰知识产权代理有限公司11293专利代理师迟军高华丽(51)Int.Cl.G03F7/20(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图10页(54)发明名称异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置(57)摘要本发明提供异常检测装置、异常检测方法、存储介质、快门装置及曝光装置。一种异常检测装置用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作,所述异常检测装置包括:检测单元,其被构造为:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型检测异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。CN115774378ACN115774378A权利要求书1/2页1.一种异常检测装置,其用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作,所述异常检测装置包括:检测单元,其被构造为:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型来检测异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。2.根据权利要求1所述的异常检测装置,其中,关于测量数据的信息包括根据测量数据计算出的特征值。3.根据权利要求2所述的异常检测装置,其中,所述特征值是根据通过测量关于快门装置的物理量而获得的时序数据来计算的。4.根据权利要求3所述的异常检测装置,其中,所述特征值包括根据时序数据的波形计算的重心。5.根据权利要求3所述的异常检测装置,其中,所述物理量包括:快门装置的位置、快门装置的速度和快门装置的加速度中的至少一者。6.根据权利要求3所述的异常检测装置,其中,所述物理量包括由快门装置产生的声音。7.根据权利要求3所述的异常检测装置,其中,所述物理量包括由驱动快门装置的驱动机构产生的扭矩。8.根据权利要求3所述的异常检测装置,其中,所述物理量包括驱动快门装置的驱动机构的电流消耗。9.根据权利要求1所述的异常检测装置,其中,所述异常检测模型是基于在快门装置正常操作的状态下测量的测量数据生成的。10.根据权利要求1所述的异常检测装置,其中,所述确定数据包括基于根据测量数据计算出的特征值和根据在快门装置正常操作的状态下测量的测量数据计算出的特征值而计算出的马氏距离。11.根据权利要求1所述的异常检测装置,其中,所述检测单元基于通过测量关于快门装置的物理量而获取的并且基于快门装置驱动快门的定时而划分的时序数据来确定检测到的异常操作是否是周期性的异常操作。12.根据权利要求11所述的异常检测装置,所述异常检测装置还包括:控制单元,其被构造为控制所述快门装置的操作,其中,在所述检测单元检测到的异常操作被确定为周期性异常操作的情况下,控制单元停止快门装置的操作。13.根据权利要求12所述的异常检测装置,其中,在所述检测单元检测到的异常操作被分类为非周期性异常操作的情况下,控制单元降低快门装置的快门被驱动的速度或快门被驱动的频率,并且控制单元继续快门装置的操作。14.一种异常检测方法,其用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作,所述异常检测方法包括:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型来检测异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。15.一种非暂态计算机可读存储介质,其存储用于使计算机执行异常检测方法的程序,2CN115774378A权利要求书2/2页该异常检测方法用于检测被构造为遮挡光的快门装置中的异常操作,所述异常检测方法包括:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型来检测异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。16.一种用于遮挡光的快门装置,所述快门装置包括:检测单元,其被构造为:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型检测快门装置中的异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。17.一种曝光装置,其用于通过用光照射基板来对基板进行曝光,所述曝光装置包括:快门装置,其被构造为遮挡光;和异常检测装置,其被构造为检测快门装置中的异常操作,其中,异常检测装置包括检测单元,所述检测单元被构造为:在关于对快门装置的测量数据的信息被输入到所述异常检测模型的情况下,使用所述异常检测模型检测异常操作,所述异常检测模型输出用于检测异常操作的确定数据。18.一