基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法.pdf

本发明公开了一种基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法,包括以下步骤:首先应用太赫兹时域光谱检测装置分别测量太赫兹波透过空气和被检测的热障涂层反射的信号,作为时域的参考信号和样品信号,然后对参考信号做傅里叶变换,将其作为太赫兹入射频域谱信号;建立太赫兹多层反射理论模型;不断改变热障涂层中各层的厚度值,带入多层反射理论模型,得到样品的理论频域谱信号后对其进行反傅里叶变换,从而得到样品信号时域的理论值,并与实验测得的样品信号做比较,采用优化算法进行寻优,直到理论计算结果与实验测量结果一致,各层厚度值即为被检测厚度的结果;本发明可为热障涂层厚度的准确、无损、快速检测提供一种新的方法。