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本发明公开了一种利用太赫兹波测量热障涂层陶瓷层厚度的方法,利用反射式太赫兹时域光谱装置获取垂直入射信号和从样品表面反射的太赫兹信号;分别获取入射信号与样品反射信号的峰值并计算入射波与反射波的能量比;借助于波阻抗计算物质的折射率;从样品反射信号中提取前两个峰的延迟时间,进而计算出陶瓷层厚度。本发明提出的方法无需制作标准试件和建立复杂的理论模型,能够为热障涂层陶瓷层的厚度提供一种操作简单、快速、无损的检测方式。