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一种超声振动辅助主被动复合柔性抛光方法,拉杆液压缸固定在底板上,拉杆液压缸拉杆端部装有六维力传感器采集接触力信息,通过伺服比例阀来控制流经拉杆液压缸的油量来控制拉杆的伸缩运动,以实现主动柔顺;变弹性柔性砂带由下基层、弹性层、中基层、磨粒层构成;通过调节伺服比例阀来控制流经拉杆液压缸的油量来控制拉杆的伸缩运动,来改变抛光头与工件的接触力;结合超声振动的方式,实现接触面力的平均分布、有效降低同等材料去除率下的接触力,从而获得更高的抛光质量。以及提供一种超声振动辅助主被动复合柔性抛光装置。本发明适应能力较好、使用范围不受到限制。